發(fā)布時(shí)間：2017-11-03 08:30

  本文關(guān)鍵詞：大口徑平面光學(xué)元件面形檢測(cè)中激光光斑質(zhì)心定位

  更多相關(guān)文章： 光斑質(zhì)心定位 面形檢測(cè) 局部能量和 重心法 σ準(zhǔn)則

【摘要】：如何快速準(zhǔn)確計(jì)算透鏡焦面上的光斑質(zhì)心坐標(biāo)是大口徑平面光學(xué)元件面形檢測(cè)系統(tǒng)的核心問(wèn)題之一,直接決定面形檢測(cè)的精度和重復(fù)性。定義一個(gè)半徑為r的探測(cè)窗口,根據(jù)到中心距離建立一維卷積模板,在光斑覆蓋區(qū)域中尋找窗口內(nèi)能量和局部最大的位置,確定光斑有效區(qū)域;再使用傳統(tǒng)重心法計(jì)算有效區(qū)域質(zhì)心;最后應(yīng)用3σ準(zhǔn)則進(jìn)行誤差處理。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該算法檢測(cè)精度為0.1像素,各指標(biāo)比傳統(tǒng)閾值加權(quán)質(zhì)心定位法提高約1倍,面形測(cè)量的面形相似性和PV比閾值加權(quán)法更貼近干涉儀檢測(cè)結(jié)果。目前,通過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證與改進(jìn),已成功運(yùn)用于實(shí)際項(xiàng)目中。
【作者單位】： 西南科技大學(xué)計(jì)算機(jī)科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 光斑質(zhì)心定位 面形檢測(cè) 局部能量和 重心法 σ準(zhǔn)則
【基金】：制造過(guò)程測(cè)試技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金(12zxzk06)
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言光學(xué)元件面形的精密檢測(cè)是國(guó)家重大光學(xué)工程項(xiàng)目中不同姿態(tài)、不同種類(lèi)、面形梯度變化大的在線光學(xué)元件正確、安全、高效運(yùn)行的保證。近年來(lái),國(guó)內(nèi)外相繼開(kāi)展了有關(guān)高精度、大口徑光學(xué)平面鏡的面形檢測(cè)工作,主要方法有三種:(1)基于子孔徑拼接的檢測(cè)技術(shù);(2)基于角差法的檢

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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8 吳青青;張效棟;房豐洲;張林;;基于波前傳感法的立方相位板面形測(cè)量[J];光學(xué)技術(shù);2014年02期

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10 程利群;景文博;王曉曼;;夏克-哈特曼波前傳感器光斑質(zhì)心探測(cè)方法比較與分析[J];長(zhǎng)春理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2014年03期

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3 齊岳;基于液晶自適應(yīng)光學(xué)技術(shù)的視網(wǎng)膜微血管成像研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

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2 孫晶玢;基于差分激光三角法的水面油膜測(cè)厚系統(tǒng)光學(xué)傳感器設(shè)計(jì)[D];天津大學(xué);2010年

3 張曉艷;同場(chǎng)景多幅圖像的圖像分割算法的研究[D];太原科技大學(xué);2012年

4 蔣峰;太陽(yáng)方位檢測(cè)裝置的研究與實(shí)現(xiàn)[D];太原科技大學(xué);2012年

5 蔣正英;基于攝像測(cè)量系統(tǒng)的APT技術(shù)研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2012年

6 趙思;基于微透鏡陣列的大氣湍流池湍流特征檢測(cè)[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2012年

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 蔡白銀;曹文田;凌松云;包尚聯(lián);;質(zhì)心引導(dǎo)的最大似然定位算法的模擬[J];中國(guó)醫(yī)學(xué)物理學(xué)雜志;2009年03期

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本文編號(hào)：1135433