本文關(guān)鍵詞：誤差分離技術(shù)在平面鏡瑞奇-康芒法檢測(cè)中的應(yīng)用

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)檢測(cè) 平面鏡 瑞奇-康芒法 誤差分離 最小二乘法

【摘要】：為了提高瑞奇-康芒法檢測(cè)平面鏡面形誤差的精度,提出了利用檢測(cè)系統(tǒng)光瞳面與被檢平面鏡表面的坐標(biāo)映射關(guān)系插值擬合平面鏡面形的方法。結(jié)合最小二乘法分析,解算了由光路調(diào)整引入的離焦誤差,獲得了更為真實(shí)的平面鏡面形誤差。理論仿真分析顯示,此方法的平面鏡測(cè)量誤差可控制在λ/100(λ=632.8nm)量級(jí)。對(duì)口徑為40mm的小口徑平面鏡進(jìn)行了實(shí)際檢測(cè),檢測(cè)過(guò)程中通過(guò)多角度旋轉(zhuǎn)被測(cè)平面鏡,利用坐標(biāo)映射關(guān)系和幅值轉(zhuǎn)換關(guān)系對(duì)測(cè)試波前進(jìn)行恢復(fù),在分離系統(tǒng)離焦誤差后得到被檢平面鏡面形RMS值為0.018 6λ,與干涉儀直接檢測(cè)得到的RMS值0.021λ相比,殘差為0.002 4λ。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明了此種誤差分離技術(shù)在瑞奇-康芒法對(duì)平面鏡面形檢測(cè)時(shí)的有效性與準(zhǔn)確性。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測(cè) 平面鏡 瑞奇-康芒法 誤差分離 最小二乘法
【基金】：國(guó)家863高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.2012AA040503) 國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(No.11034007)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言大口徑平面鏡在空間光學(xué)、天文光學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。隨著平面鏡口徑的增大,對(duì)其面形檢測(cè)精度的要求也越來(lái)越高。在光學(xué)平面鏡面形檢測(cè)中,干涉測(cè)量法是一種常用的方法。目前,可用于平面檢測(cè)的商業(yè)干涉儀的最大口徑為800mm,因此對(duì)于口徑超過(guò)800mm的平面鏡,干涉儀無(wú)

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本文編號(hào)：1131882