本文關鍵詞：基于雙激光束的微型光熱驅動器研究

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【摘要】：實現(xiàn)了一種利用雙激光束(雙光斑)的微型光熱驅動的器(OTMA)。利用準分子激光微加工系統(tǒng)加工制作了膨脹臂寬為100μm、總長為750μm的非對稱型OTMA;利用波長650nm的雙激光束開展了OTMA的光熱驅動實驗研究,借助CCD顯微視頻運動測量系統(tǒng),測定了光熱偏轉量與激光功率之間的關系曲線。實驗結果表明,OTMA的光熱偏轉量與激光總功率之間近似成線性關系;當雙光斑功率為4 mW時,OTMA獲得的光熱偏轉量達到15.2μm,大于單光斑分別照射時的偏轉量之和(13.1μm);同時,當雙光斑照射與單光斑照射獲得的光熱偏轉量相同時,雙光斑的功率密度僅為單光斑的1/2甚至更小,從而可有效地避免單光斑照射時因局部溫升過高而導致OTMA燒結損壞,延長了器件的工作壽命。本文的OTMA結構簡單,易于加工,偏轉量大,易于操作,并且可以實現(xiàn)無線遠距離控制;可望在微納米技術及微型光機電系統(tǒng)等領域獲得廣泛應用。
【作者單位】： 浙江大學現(xiàn)代光學儀器國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 雙激光束 光熱偏轉量 微型光熱驅動器(OTMA) 光熱膨脹
【基金】：國家自然科學基金(51077117)資助項目
【分類號】：TH703
【正文快照】： 1引言隨著微納米技術及微型光機電系統(tǒng)(MO-EMS)的快速發(fā)展,對微型驅動技術及微型驅動機構提出了新的要求。根據原理和技術方法的不同,現(xiàn)有的微驅動技術主要有微特電磁馬達[1]、靜*E-mail:zhanghj@zju.edu.cn電馬達[2]、壓電驅動[3,4]、磁致伸縮驅動[5,6]、形狀記憶合金驅動和

【參考文獻】

中國期刊全文數據庫 前6條

1 張永宇,沈雪瑾,陳曉陽;V型電致熱微驅動器的力學特性分析[J];微納電子技術;2003年Z1期

2 劉超;張冬仙;章海軍;;基于微納米尺度光熱膨脹的微型光熱驅動器研究[J];光電子.激光;2008年08期

3 王樂妍;劉超;章海軍;張冬仙;;激光光熱控制觸點開關式微驅動機構及實驗研究[J];光電子.激光;2008年11期

4 尹伊;曹貴川;祁康成;葉輝;詹文博;;環(huán)形叉指電極型壓電鼓膜驅動器的制備及其性能測試[J];光電子.激光;2013年02期

5 李立彤;張東生;文曉艷;熊麗;;微型光纖F-P傳感器用于材料熱膨脹系數的測量[J];光電子·激光;2014年11期

6 陳超;張冬仙;劉超;章海軍;;微型光熱驅動機構及其顯微運動測量研究[J];中國機械工程;2009年08期

【共引文獻】

中國期刊全文數據庫 前8條

1 楊靜,高建忠,趙玉龍,蔣莊德;一種MEMS熱微執(zhí)行器的設計與制作[J];微納電子技術;2005年04期

2 王旭;沈雪瑾;張永宇;;基于柔性鉸鏈的熱驅動微夾鉗的實驗和仿真分析[J];傳感技術學報;2006年05期

3 張永宇;陳曉陽;杜向陽;;V型電熱硅微致動器動態(tài)頻率特性[J];傳感技術學報;2008年04期

4 王劍鋒;宏巖;馬建東;張在宣;龔華平;;光開關在分布式光纖溫度傳感系統(tǒng)的應用研究[J];光電子.激光;2010年09期

5 王艷超;王召巴;王志斌;黃艷飛;;雙彈光調制器動態(tài)耦合及控制的一種新方法[J];光電子.激光;2014年01期

6 楊丁;尹伊;;Si基Sr_(1.8)Ca_(0.2)NaNb_5O_(15)薄膜的合成及光學特性研究[J];光電子.激光;2014年07期

7 張永宇;陳曉陽;;納米致動器研究現(xiàn)狀與工程應用的進展[J];上海大學學報(自然科學版);2006年02期

8 商婭娜;倪晴燕;丁丁;陳娜;王廷云;;Fabrication of optical fiber sensor based on double-layer SU-8 diaphragm and the partial discharge detection[J];Optoelectronics Letters;2015年01期

中國重要會議論文全文數據庫 前3條

1 王樂妍;劉超;章海軍;;利用準分子激光微加工技術的微型器件制作及研究[A];2007'儀表，自動化及先進集成技術大會論文集（一）[C];2007年

2 王樂妍;張冬仙;章海軍;;利用808nm半導體激光的三維微結構熱塑成型方法研究[A];2010中國儀器儀表學術、產業(yè)大會（論文集1）[C];2010年

3 張永宇;沈雪瑾;趙江銘;陳曉陽;;熱致動硅微夾鉗實驗研究[A];中國微米、納米技術第七屆學術會年會論文集（一）[C];2005年

中國碩士學位論文全文數據庫 前10條

1 趙冬偉;基于LIGA技術的光熱微驅動機構研究[D];浙江大學;2012年

2 李家賡;基于熱變形的納米級大進給力驅動部件的研究[D];浙江大學;2005年

3 季東;基于LMI的納米級熱驅動部件魯棒H_∞控制研究[D];浙江大學;2006年

4 林進全;基于Robust控制的納米級熱驅動部件系統(tǒng)研究[D];浙江大學;2006年

5 曹建玉;柔性電熱微夾鉗的設計和制作[D];大連理工大學;2008年

6 畢珊;MEMS引信安全系統(tǒng)的微驅動器研究[D];南京理工大學;2008年

7 傅璐;夾持半徑可調式仿生壓電旋轉驅動器的設計分析與試驗研究[D];吉林大學;2013年

8 山磊;硅基微驅動器的建模與分析[D];西安電子科技大學;2013年

9 郭啟云;錳基形狀記憶合金物理和力學性能的研究[D];南昌大學;2013年

10 曲涵;多自由度仿生壓電精密驅動器設計分析與試驗研究[D];吉林大學;2014年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數據庫 前8條

1 黃力群,黃衛(wèi)平,王里,簡水生;用光纖光柵測量材料的熱膨脹系數[J];光電子·激光;2003年10期

2 劉永紅,楊毅,賈寶賢;NiTi形狀記憶合金彈簧電熱驅動特性[J];機械工程材料;2000年04期

3 彭保進,張敏,廖延彪,賴淑蓉,匡武,賀曉霞;在-50℃～+150℃大溫度范圍下用FBG測材料的三維熱膨脹系數[J];光子學報;2005年10期

4 李杰燕;張東生;張倩;;基于嵌入式FBG的脈沖強磁體應變測量研究[J];光電子.激光;2012年12期

5 婁迪;張巍;白劍;楊國光;;壓電薄膜自適應變形微反射鏡陣列研究[J];光電子.激光;2007年12期

6 邱宇,劉伯偉,賈有權,薛遠;熱膨脹系數測定新方法[J];天津大學學報;1998年04期

7 傅興海;尹伊;張磊;葉輝;;擇優(yōu)取向MgO在Si襯底上的直流濺射制備及其性能表征[J];物理學報;2009年07期

8 鐘瑩;張國雄;冷長林;張濤;;用于微機電系統(tǒng)運動檢測的激光差動多普勒技術[J];中國機械工程;2006年22期

【相似文獻】

中國期刊全文數據庫 前10條

1 ;法國成功獲得非散射激光束[J];新材料產業(yè);2003年10期

2 賀旭照,易仕和,孔鐵全;激波對激光束遠場強度分布影響的數值研究[J];空氣動力學學報;2004年01期

3 黃裕年;;非致命激光束武器[J];國防科技;2006年11期

4 諶立新;;世界上最強力的激光束即將釋放出核能[J];功能材料信息;2010年01期

5 孫樹功;;利用激光束測定罐體的沉降量[J];激光與光電子學進展;1984年11期

6 ;用激光束指示衛(wèi)星軌道[J];激光與紅外;1971年12期

7 憲法;;激光束用于射擊演習[J];激光與紅外;1972年04期

8 林朝平;用激光束測量直徑的裝置[J];工具技術;1985年06期

9 思瀾;;用光導纖維傳送加工用的激光束[J];航空工藝技術;1985年01期

10 趙金鳳;;用離子束和激光束方法改變材料表面性能[J];航空材料;1986年01期

中國重要會議論文全文數據庫 前10條

1 趙鑫;毛海丹;葛凡;陳林飛;;陣列寬帶激光束在受限光學系統(tǒng)中的傳輸[A];中國光學學會2011年學術大會摘要集[C];2011年

2 張粹偉;;激光束參數自動校正系統(tǒng)[A];中國電子學會真空電子學分會——第十四屆年會論文集[C];2004年

3 賀新奎;李儒新;帥斌;葛曉春;徐至展;;緊聚焦的超強激光束中的電子加速[A];2004年全國強場激光物理會議論文集（二）[C];2004年

4 李正亮;王蓮芬;成燕歸;;激光束近軸定位技術研究[A];2006年全國光電技術學術交流會會議文集（C 激光技術與應用專題）[C];2006年

5 彭勇;胡曉陽;周文超;易亨瑜;田小強;張衛(wèi);;大口徑激光束參量直接診斷技術[A];第十七屆全國激光學術會議論文集[C];2005年

6 張朝漢;;電子束與激光束的發(fā)展進入相輔相成的新時期[A];中國電工技術學會電子束離子束專業(yè)委員會第四屆電子束離子束學術年會暨中國電子學會焊接專業(yè)委員會第二屆電子束焊接學術年會論文集[C];1991年

7 董航;;用目標反射光探測激光束在湍流大氣中傳輸的整體傾斜[A];中國工程物理研究院科技年報（2000）[C];2000年

8 王平曉;霍裕昆;W.Scheid;;開槽的激光束中的電子俘獲加速通道[A];2006年全國強場激光物理會議論文集[C];2006年

9 粟敬欽;魏曉峰;馬馳;袁靜;駱永全;王建軍;;激光束低頻畸變波前的計算模擬[A];中國工程物理研究院科技年報（1999）[C];1999年

10 朱森昌;呂信;;激光束配置變化對輻照均勻性的影響[A];中國工程物理研究院科技年報（2003）[C];2003年

中國重要報紙全文數據庫 前10條

1 ;有人從地面發(fā)射激光束 試圖致盲俄客機飛行員[N];新華每日電訊;2011年

2 毛文波;法成功獲得非散射激光束[N];科技日報;2003年

3 本報駐美國記者 毛黎;為地球上的“太陽”點火[N];科技日報;2010年

4 成都 丁長編譯;激光束全自動開門器[N];電子報;2009年

5 記者 倪永華;德國開發(fā)出超大容量光盤[N];科技日報;2001年

6 華凌;NASA成功演示激光束傳視頻實驗[N];科技日報;2014年

7 河北 孫戰(zhàn)海;打造炫目的掃光效果[N];電腦報;2003年

8 王金元;新測速器超速者的克星[N];北京科技報;2005年

9 劉向;德成功用激光束從平流層高速傳數據[N];新華每日電訊;2005年

10 劉國信;選擇DVD光頭是關鍵[N];中國電力報;2002年

中國博士學位論文全文數據庫 前3條

1 毛海丹;寬帶激光束在復雜光學系統(tǒng)中的傳輸[D];浙江大學;2011年

2 董洪舟;半導體激光束的傳輸與變換特性研究[D];西安電子科技大學;2007年

3 蔡陽健;復雜激光束的變換與符合成像研究[D];浙江大學;2005年

中國碩士學位論文全文數據庫 前10條

1 楊亮;空心激光束的產生技術研究[D];長春理工大學;2011年

2 張敏;激光束指向穩(wěn)定系統(tǒng)研究[D];中國科學院研究生院(西安光學精密機械研究所);2012年

3 王鉑;空心激光束在大氣中傳輸特性研究[D];長春理工大學;2010年

4 賴曉磊;激光束作用在負折射率小球上的光力理論研究[D];浙江大學;2009年

5 李煊;基于激光束穩(wěn)定技術的教學控制平臺開發(fā)[D];哈爾濱工業(yè)大學;2008年

6 李宏升;湍流對大氣中傳輸激光束的影響[D];長春理工大學;2002年

7 葛衛(wèi)國;激光束通過含光闌光學系統(tǒng)的傳輸變換[D];江西師范大學;2006年

8 賀旭照;二維超聲速流場與強激光束干擾的數值研究[D];中國人民解放軍國防科學技術大學;2002年

9 張凱;空心激光束的形成及其控制技術研究[D];長春理工大學;2009年

10 段劉華;靶面溫度場反演激光束時空分布研究[D];暨南大學;2011年

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本文編號：1074313