發(fā)布時(shí)間：2025-05-07 01:16

　　 提出了一種基于光子晶體的二維多通道光學(xué)化學(xué)傳感器。該器件由中心波長(zhǎng)為3.3μm的四個(gè)腔組成,各通道工作波長(zhǎng)間隔為10 nm。該傳感器采用800 nm厚的絕緣體上硅材料,可利用標(biāo)準(zhǔn)CMOS技術(shù)加工。通過三維時(shí)差有限差分法對(duì)微腔結(jié)構(gòu)的光學(xué)特性進(jìn)行模擬。每個(gè)通道的傳輸效率為39%,通道之間的傳輸效率不一致性小于0.25dB。該傳感器的功能為檢測(cè)四氯化碳和苯溶液濃度,其靈敏度為209.2 nm/RIU。

【文章頁數(shù)】：5 頁

【部分圖文】：

圖２光子晶體能帶圖??

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圖１多通道片上傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖??

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圖３未優(yōu)化的彎曲波導(dǎo)（ａ）和優(yōu)化后的彎曲波導(dǎo)（ｂ）的能量分??

Ｆｉｇ．?３?Ｔｈｅ?ｅｎｅｒｇｙ?ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ?ｏｆ?（ａ）?ｔｈｅ?ｎｏｒｍａｌ?ｂｅｎｄ?ａｎｄ?（ｂ）??ｔｈｅ?ｏｐｔｉｍｉｚｅｄ?ｂｅｎｄ．??圖３未優(yōu)化的彎曲波導(dǎo)（ａ）和優(yōu)化后的彎曲波導(dǎo)（ｂ）的能量分??布??Ｗｅ?ｃａｎ?ｄｅｓｉｇｎ?ａ?ｃａｖｉｔｙ....

圖４原始腔（ａ）和苯注人腔（ｂ）的能量分布??１??＿０．??

＾ｃｏ／ｃｏ?＝?－Ｆ?？?Ａｎ／ｎ?，?（３）??Ｆ?ｉｓ?ａ?ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ?ｆｕｎｃｔｉｏｎ?ｒｅｌａｔｅｄ?ｔｏ?ｔｈｅ?ｍｏｄｅ?ｐｒｏｆｉｌｅ?ｆｏｒ??ｔｈｅ?ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ?ｆｕｎｃｔｉｏｎ?ｓ，?ａｎｄ?ｉｔ?ｉｓ?ａ?ｃｏｎｓｔａｎｔ?ｓｉｎｃｅ....

本文編號(hào)：4043379