實驗研究了不同激光預處理參數(shù)對于納秒激光多脈沖作用下HfO₂/SiO₂反射膜損傷形態(tài)轉化的影響。通過對比兩類損傷擴張性和對薄膜功能性破壞機制,提出激光預處理技術的重要意義在于抑制損傷形態(tài)轉化過程。通過薄膜損傷形態(tài)分析揭示了激光預處理作用機制為節(jié)瘤缺陷的去除和亞表面吸收前驅體的形成兩方面的綜合作用。實驗結果表明:預處理后薄膜損傷形態(tài)轉化特征曲線向更高通量和更多發(fā)次方向平移。針對現(xiàn)有工藝下的薄膜,采用高通量、兩臺階的預處理參數(shù)組合能夠獲得兼顧效率的最佳收益,其零幾率損傷形態(tài)轉化閾值最高可以提升140%。 

【文章來源】：紅外與激光工程. 2017,46(06)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 損傷形態(tài)分類與形態(tài)轉化
2 實驗條件
3 結果與討論
    3.1 激光預處理參數(shù)對損傷形態(tài)轉化影響
    3.2 激光預處理機制
4 結論


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3091952