發(fā)布時間：2022-07-27 15:15

　　微半球諧振陀螺儀（μHRG）作為MEMS器件研究領域的熱門方向,以其體積小、精度高、功耗低、使用壽命長及批量化生產(chǎn)的優(yōu)點,已經(jīng)成為國內(nèi)外科研單位的重點。本文圍繞微半球諧振陀螺儀的能量耗散和頻率裂解機理展開仿真分析和結構設計,以設計實際加工工藝流程和優(yōu)化具體方案步驟為重點,加工制備高品質(zhì)因數(shù)的微半球諧振陀螺儀。首先,對微半球諧振陀螺儀國內(nèi)外的研究情況介紹展開,對國內(nèi)外科研單位提出的各種形式的微半球諧振陀螺儀以及相關的工藝方法進行闡釋,明確課題的研究價值與研究意義,為微半球諧振陀螺儀的建模仿真、結構設計和工藝設計提供有益的借鑒與參考價值。其次,介紹了微半球諧振陀螺儀的工作原理,通過基�；舴�-李雅夫假設建立數(shù)學模型并求解微半球諧振子的運動方程和進動特性;詳細介紹了微半球諧振陀螺儀兩種工作模式,包括位置激勵和參數(shù)激勵,為后續(xù)工作提供理論基礎。第三,闡釋了微半球諧振陀螺儀各種能量耗散形式與頻率裂解機理,通過Comsol Multiphysics仿真軟件,詳細分析了微半球諧振子材料對熱彈性阻尼的影響,以及微半球材料、結構參數(shù)對支撐損耗的影響;通過對引起模態(tài)頻率裂解方式的數(shù)學模型推導和求解,為后續(xù)微... 

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

玻璃吹塑成型法

驅(qū)動檢測電極自對準陣列式玻璃半球殼密歇根大學的K.Najafi等人[10]

熔融石英玻璃吹制工藝示意圖

【參考文獻】：
期刊論文
[1]高端MEMS固體波動陀螺的發(fā)展與應用[J]. 權海洋,楊栓虎,陳效真,王浩.  導航與控制. 2017(06)
[2]半球諧振陀螺研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢[J]. 潘瑤,曲天良,楊開勇,羅暉.  導航定位與授時. 2017(02)
[3]MEMS硅半球陀螺球面電極成形工藝[J]. 莊須葉,喻磊,王新龍,李平華,呂東鋒,郭群英.  光學精密工程. 2016(11)
[4]微機械陀螺儀的新進展及發(fā)展趨勢[J]. 許昕,何杰,王文,卜繼軍.  壓電與聲光. 2014(04)
[5]微機械振動環(huán)陀螺(英文)[J]. 陳李,陳德勇,王軍波.  光學精密工程. 2009(06)
[6]哥氏振動陀螺[J]. 呂志清.  壓電與聲光. 2004(02)
[7]半球諧振陀螺的關鍵技術──信號閉環(huán)檢測理論及電路[J]. 郭栓運，于集建.  應用光學. 1994(05)
[8]殼體諧振陀螺儀的動力學分析[J]. 劉延柱.  中國慣性技術學報. 1989(00)

碩士論文
[1]微玻璃半球諧振陀螺的結構設計及工藝研究[D]. 白冰.中北大學 2017



本文編號：3665689