本文采用納秒脈沖激光銑削方法對尺寸小于1 000μm,特征尺寸小于100μm的微錐體進行加工,激光銑削過程中脈沖激光與材料相互作用復雜,因此加工結果難以預測。本文首次以微圓錐的形狀誤差為預測目標,包括錐角誤差(AT_α)、直徑誤差(T_DS)和對稱性誤差(E_S),首先采用正交試驗對顯著影響加工結果的參數(shù)進行選擇,然后利用采用不敏感損失函數(shù)的支持向量回歸機(ε-SVR)建立激光微燒蝕加工預測模型,并且根據(jù)參數(shù)對預測結果的影響對參數(shù)進行擇優(yōu)選取,實驗結果表明,較優(yōu)參數(shù)的ε-SVR模型預測得到AT_α=3.8^°,T_DS=5.35μm,E_S=1.15μm。因此,ε-SVR適用于激光銑削加工微錐的誤差預測,并對激光銑削加工其他微三維結構提供了參考。

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本文編號：3881078