超精密加工技術(shù)應(yīng)用越來越廣泛、零件形狀越來越復(fù)雜。因此增加軸數(shù)是當(dāng)今的發(fā)展趨勢。然而,對(duì)于包括五軸超精密機(jī)床在內(nèi)的超精密機(jī)床,其幾何誤差的測量方法中,直接方法不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力,還要結(jié)合經(jīng)驗(yàn)判斷;間接方法難濾除安裝誤差,并難對(duì)具體誤差項(xiàng)評(píng)價(jià)。因此,本文以五軸超精密機(jī)床為研究對(duì)象,以球桿儀作為測量儀器,采用間接測量的方法,對(duì)五軸超精密加工機(jī)床的幾何誤差建模、測量方法與實(shí)驗(yàn)進(jìn)行深入研究。主要包括以下幾個(gè)方面:為了建立五軸超精密機(jī)床的幾何誤差模型,分析了五軸超精密機(jī)床的若干誤差產(chǎn)生的原因及該誤差對(duì)五軸超精密加工機(jī)床的影響;采用多體系統(tǒng)理論,根據(jù)機(jī)床的空間布局,得到其拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),建立了五軸超精密加工機(jī)床誤差模型。為了測量五軸超精密機(jī)床的幾何總誤差,結(jié)合球桿儀的使用特點(diǎn)設(shè)計(jì)了一種在機(jī)床五軸聯(lián)動(dòng)時(shí)球桿儀朝向始終不變的測量方法,從而在該方向敏感的誤差項(xiàng)組合在機(jī)床運(yùn)行過程中始終不變;為了準(zhǔn)確安裝球桿儀到指定位置,分析了安裝球桿儀的步驟及減小安裝誤差的措施;為了濾除安裝誤差,分析了安裝誤差產(chǎn)生的原因及其對(duì)測量結(jié)果的影響,并從YCX三軸聯(lián)動(dòng)與ZBX三軸聯(lián)動(dòng)的測量數(shù)據(jù)中,分別計(jì)算球桿儀兩個(gè)精密球的安裝偏差,并用于五...

【文章頁數(shù)】：81 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1激光干涉儀

哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文2]，然后又利用8測頭方法，對(duì)直線度、俯仰角度及滾轉(zhuǎn)角度進(jìn)行測量[121項(xiàng)幾何誤差項(xiàng)的三直線軸機(jī)床，應(yīng)用激光干涉技術(shù)，很多學(xué)者對(duì)線、14線、13線及9線的測量方法進(jìn)行研究[14-18]。Lee自己搭建了一進(jìn)行測量[19,20]，但....

圖1-2球桿儀[30]

圖1-2球桿儀[30]圖1-3R-test測量儀[33]Zhu[34]取回轉(zhuǎn)軸表面的不同位置用球桿儀測量了三次，并使球桿儀與回轉(zhuǎn)軸靜止，帶入模型中得出兩回轉(zhuǎn)軸的12項(xiàng)幾何誤差。Xiang[35,36]采用五種軌跡測行測量。測得每個(gè)回轉(zhuǎn)軸的與位置相關(guān)的10項(xiàng)幾何誤....

圖1-3R-test測量儀[33]

圖1-2球桿儀[30]圖1-3R-test測量儀[33]Zhu[34]取回轉(zhuǎn)軸表面的不同位置用球桿儀測量了三次，并使球桿儀與回轉(zhuǎn)軸靜止，帶入模型中得出兩回轉(zhuǎn)軸的12項(xiàng)幾何誤差。Xiang[35,36]采用五種軌跡測行測量。測得每個(gè)回轉(zhuǎn)軸的與位置相關(guān)的10項(xiàng)幾何誤....

圖1-4球桿儀測試實(shí)驗(yàn)[41]

數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比，從而對(duì)回轉(zhuǎn)軸若干項(xiàng)幾何誤差進(jìn)行了測量。Lasemi[40]在兩回轉(zhuǎn)合轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，采用球桿儀測量整個(gè)運(yùn)動(dòng)空間的偏置量，進(jìn)而分析回轉(zhuǎn)軸的幾何誤Yang[41]等對(duì)采用球桿儀的間接測量法進(jìn)行了深入的研究，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)三軸的若干幾何誤差測量。Lei[42]等針對(duì)五軸混聯(lián)機(jī)床，設(shè)計(jì)....

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