近年來(lái),隨著信息技術(shù)、生物技術(shù)、環(huán)境、醫(yī)療、光學(xué)等領(lǐng)域產(chǎn)品的小型化趨勢(shì),微結(jié)構(gòu)和微尺度零件的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,表面質(zhì)量和精度的需求也越來(lái)越高,這對(duì)微細(xì)加工技術(shù)提出了更高的挑戰(zhàn)。作為微細(xì)加工領(lǐng)域的關(guān)鍵支撐技術(shù)之一,微細(xì)電火花加工技術(shù)目前仍存在兩大瓶頸難題:即加工速度和加工表面質(zhì)量難以滿足日益增長(zhǎng)的需求。為了獲得微細(xì)電火花加工的納米級(jí)高效蝕除能力,設(shè)計(jì)性能良好的微能脈沖電源是非常有效的途徑之一。本文從實(shí)現(xiàn)放電脈沖能量小、放電間隙大、可持續(xù)加工的需求出發(fā),探索了一種基于電路共振原理的甚高頻（頻率在30MHz-300MHz）微能脈沖源,突破了現(xiàn)有電火花脈沖源的工作模式,能夠產(chǎn)生脈寬非常窄、頻率非常高的脈沖波形,具有納米級(jí)放電蝕除特性,提高了微細(xì)電火花加工的極限蝕除能力。分析了高頻窄脈寬微細(xì)電火花的蝕除機(jī)理,隨著放電能量的進(jìn)一步減小,進(jìn)入到工具電極的能量比例逐漸減小,消耗在放電間隙中的能量比例逐漸增大,工件材料去除方式從熔化為主逐漸轉(zhuǎn)為氣化去除為主�？偨Y(jié)了甚高頻的放電凹坑半徑、能量分配系數(shù)的計(jì)算方法以及隨放電頻率的變化規(guī)律,為后續(xù)甚高頻微細(xì)電火花加工放電參數(shù)的選擇提供了依據(jù)。通過(guò)Multisim電... 

【文章來(lái)源】：中國(guó)工程物理研究院北京市

【文章頁(yè)數(shù)】：76 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖IJ光學(xué)顯徽鏡下的小孔和徽銳刀形貌圖

微細(xì)電火花加工脈沖電源的研宄現(xiàn)狀??目前有研究表明，使用掃描探針顯微鏡原理制作的放電工作臺(tái)的加工能力可達(dá)納Ｍ．Ｐ．ＪａｈａｎＭ等使用鉑銥探針對(duì)金進(jìn)行加工試驗(yàn)，分別在液態(tài)和氣態(tài)介質(zhì)中，使用??掃描隧道電子顯微鏡搭建的微納加工平臺(tái)，在相同加工參數(shù)的條件下加工后的特１．４所示，其中圖１．４（ａ）為在液態(tài)介質(zhì)中的加工特征，圖１．４（ｂ）為在氣態(tài)介質(zhì)中??工特征，可加工出７．５ｎｍ直徑的微坑。??

（ａ）小孔邊緣部分崩邊?（ｂ）微銑刀切削刃不鋒利??圖１．２光學(xué)顯微鏡下的小孔和微銑刀形貌圖??美美??ＩＵ?ＵＩ??圖１．３太赫茲行波管??１．２微細(xì)電火花加工脈沖電源的研宄現(xiàn)狀??目前有研究表明，使用掃描探針顯微鏡原理制作的放電工作臺(tái)的加工能力可達(dá)納米??級(jí)。Ｍ．Ｐ．ＪａｈａｎＭ等使用鉑銥探針對(duì)金進(jìn)行加工試驗(yàn)，分別在液態(tài)和氣態(tài)介質(zhì)中，使用??的是掃描隧道電子顯微鏡搭建的微納加工平臺(tái)，在相同加工參數(shù)的條件下加工后的特征??如圖１．４所示，其中圖１．４（ａ）為在液態(tài)介質(zhì)中的加工特征，圖１．４（ｂ）為在氣態(tài)介質(zhì)中??的加工特征，可加工出７．５ｎｍ直徑的微坑。??ｆｍ?Ｗ?ｊ??（ａ）液態(tài)介質(zhì)中的加工特征?（ｂ）氣態(tài)介質(zhì)中的加工特征??圖１．４鉑銥探針加工金樣件??４??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
[1]工件豎直超聲振動(dòng)對(duì)電火花加工間隙流場(chǎng)的影響研究[D]. 鄒純.中北大學(xué) 2018
[2]基于微能脈沖放電的單道掃描速度建模及其優(yōu)化研究[D]. 陳飛.中國(guó)工程物理研究院 2016
[3]場(chǎng)致射流微細(xì)放電加工實(shí)驗(yàn)研究[D]. 韓寧.上海交通大學(xué) 2015
[4]靜電感應(yīng)微細(xì)電火花加工放電特性與伺服控制研究[D]. 王學(xué)志.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2011
[5]微細(xì)電火花加工超短脈寬脈沖電源的研制[D]. 劉明宇.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2007



本文編號(hào)：3376900