本文關(guān)鍵詞：多晶硅碳含量對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響及處理工藝

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【摘要】：針對(duì)改良西門子法多晶硅生產(chǎn)過程中碳含量過高導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降的問題,以多晶硅還原小試爐為反應(yīng)裝置,通過控制進(jìn)入小試爐內(nèi)三氯氫硅中含碳有機(jī)物的含量和氫氣中的甲烷含量,考察原料組分及組成對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。采用傅里葉紅外光譜儀、氣質(zhì)聯(lián)用色譜和氣相色譜對(duì)產(chǎn)品和氯硅烷中的含碳量進(jìn)行檢測(cè)。結(jié)果表明,進(jìn)入小試爐內(nèi)氫氣中的CH4含量對(duì)產(chǎn)品碳含量影響較大,氯硅烷中有機(jī)碳含量影響較低,且基本保持在同一水平。通過對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的分析,在實(shí)際生產(chǎn)中,對(duì)原有工藝進(jìn)行改進(jìn),增加一套除甲烷裝置,使進(jìn)入還原爐內(nèi)氫氣中甲烷的含量保持在5.0×10-5左右。
【作者單位】： 亞洲硅業(yè)(青海)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 多晶硅 改良西門子法 碳含量
【分類號(hào)】：TQ127.2
【正文快照】： 在采用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的工藝過程中,氯硅烷和氫氣作為主要生產(chǎn)原材料,需求量大,且對(duì)純度要求較高,一般為99.999 9%以上[1]。目前大部分多晶硅生產(chǎn)廠家都采用精餾和電解氫氧化鉀水溶液的方法來制備高純氯硅烷和高純氫[2],在實(shí)際生產(chǎn)過程中,產(chǎn)生的還原尾氣中含有大量有

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