本文關(guān)鍵詞：射頻功率對(duì)氫氣與反式二丁烯的低壓電感耦合等離子體的影響（英文）

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【摘要】：利用等離子體聚合技術(shù)制備的GDP殼層是目前ICF靶丸的主要燒蝕層材料。為了了解GDP薄膜沉積過(guò)程中的CH等離子體的狀態(tài),采用朗繆爾探針和質(zhì)譜儀對(duì)C4H8/H2等離子體的組分和狀態(tài)參數(shù)進(jìn)行了診斷,并對(duì)等離子體的電子能量分布函數(shù)、電子密度、電子溫度等進(jìn)行了深入分析。同時(shí)討論了等離子體狀態(tài)與放電參數(shù)之間的關(guān)系。研究發(fā)現(xiàn),射頻功率對(duì)等離子體參數(shù)有明顯的影響。從10W到35W,電子密度正比于射頻功率。隨著射頻功率的增加,在兩步電離機(jī)制作用下,電子溫度和等離子體電勢(shì)呈現(xiàn)先減小后增大的變化趨勢(shì)。另外,在高氣壓下,質(zhì)譜診斷中發(fā)現(xiàn)了大量的穩(wěn)定的小質(zhì)量碎片離子,這表明在高氣壓下等離子體氣相中的離子碎片聚合反應(yīng)被抑制。
【作者單位】： 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心;
【關(guān)鍵詞】： GDP薄膜 朗繆爾探針 質(zhì)譜儀 等離子體診斷
【分類(lèi)號(hào)】：O646.9
【正文快照】： In order to achieve inertial confinement fusion(ICF),the shell filled with a deuterium-tritium mixture will be heated and compressed by lasers to reach ignition.However,the materials suitable as an ablator for high energy class lasers must have particula

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本文編號(hào)：677350