流場分布對納米結構模板電沉積成型質量的影響
本文選題:納米結構 切入點:電沉積 出處:《中南大學學報(自然科學版)》2017年05期
【摘要】:提出采用新型陰極多自由度運動電沉積技術制作納米結構模塑成型鎳模板,研究不同流場分布狀態(tài)下電沉積成型模板的厚度分布、表面質量和納米結構成型精度。研究結果表明:陰極定軸轉動可使其表面流體流動增強,但對電解液的整體攪拌作用較弱,需輔助高壓空氣攪拌等措施以增強傳質效果;陰極水平往復運動對電解液整體攪拌作用較強,但陰極表面電鑄液流動性較差,上部區(qū)域存在流動死角;當陰極定軸旋轉轉速為150 r/min,水平往復移動速度為250 mm/s時,鍍層厚度偏差可分別降低至17.26%和20.93%;運動陰極電沉積制得的鎳模板表面氣孔缺陷明顯減少,納米結構的復制精度顯著提高,可應用于納米結構模塑成型工藝。
[Abstract]:The thickness distribution , surface quality and nano - structure forming precision of electrodeposition forming template under different flow field distributions were studied . The results showed that the thickness distribution , surface quality and nano - structure forming precision of electrodeposition forming template under different flow field distributions were studied .
【作者單位】: 中南大學高性能復雜制造國家重點實驗室;
【基金】:國家自然科學基金重大研究計劃培育項目(91123012) 國家重點基礎研究發(fā)展計劃(973計劃)項目(2012CB025905)~~
【分類號】:TQ153
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,本文編號:1695497
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