磷化銦高壓單晶爐的單機微型網絡控制系統設計
本文關鍵詞:磷化銦高壓單晶爐的單機微型網絡控制系統設計
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【摘要】:隨著磷化銦單晶材料在民用及軍用領域的廣泛應用,磷化銦單晶的制備也變得越來越重要,尤其是大尺寸高純度磷化銦單晶的制備更能受到材料和設備制造商的重視。磷化銦高壓單晶爐就是為了滿足大尺寸高純度的磷化銦單晶的生產而專門設計的。磷化銦高壓單晶爐的單機微型網絡控制系統是嚴格按照磷化銦單晶生產工藝的特點和技術要求專門為磷化銦高壓單晶爐設計。在該系統中包含了熱場溫度控制與提升系統速度控制這兩個關鍵的也是技術指標要求最嚴的控制部分的設計。另一方面應根據實際使用情況,在節(jié)省成本的前提下,為了滿足生產過程數據顯示的便利性與遠端監(jiān)控的需求,設計了一套由兩種不同通訊協議(MODBUS RTU和TCP/IP)組成的單機微型網絡控制系統。在上下傳動的速度控制設計中分別采用單電機雙減速器的機械結構并配合相應電氣設計解決了上下傳動速度系統要同時滿足慢速精度問題與快速升降時的快速速度問題;溫度系統的控制要分別包括左右磷泡加熱、視窗加熱和主爐室內三段加熱的控溫精度與溫度顯示;而溫度顯示的解決方法則是三個將熱電偶的溫度信號分別通過三個溫度控制器(歐陸)的RS485的通訊功能上傳到觸摸屏的指定地址中,從而實現加熱溫度的顯示與加熱溫度信號在整個控制系統的數據通訊。利用觸摸屏的MultiTalk功能和自身多接口的硬件優(yōu)勢,將以RS485通訊的MODBUS RTU協議的通訊數據轉換到以TCP/IP協議通訊的由觸摸屏、PLC和PC組成的網絡中,從而完成兩種不同通訊協議的數據聯通,實現了PLC對溫度信號的采集與PC機作為遠端監(jiān)控數據的用途。
【學位授予單位】:北京工業(yè)大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2016
【分類號】:TP273;TK175
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,本文編號:1143438
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