發(fā)布時(shí)間：2025-01-10 22:49

　　高科技電子廠房以及大型科學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置內(nèi)的精密儀器設(shè)備對(duì)環(huán)境振動(dòng)有很高的控制要求。如IC廠房微振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到VC-D（1/3倍頻程速度為6μm/s）。然而,建筑內(nèi)部的設(shè)備不可避免的會(huì)受到建筑周?chē)煌ê奢d及水泵空調(diào)機(jī)房等動(dòng)力設(shè)備引起的環(huán)境振動(dòng)的不利影響。為減小環(huán)境振動(dòng)對(duì)精密儀器設(shè)備的影響,有必要對(duì)振源特性和振動(dòng)在土體中的傳播規(guī)律進(jìn)行研究。本文以擬建的某同步輻射光源項(xiàng)目為背景,使用現(xiàn)場(chǎng)實(shí)測(cè)的方法對(duì)交通荷載和豎向簡(jiǎn)諧荷載下的場(chǎng)地振動(dòng)響應(yīng)特性和衰減規(guī)律進(jìn)行了深入研究,具體研究?jī)?nèi)容包括:（1）綜述了環(huán)境振動(dòng)的危害、振動(dòng)控制的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)內(nèi)外關(guān)于振動(dòng)傳播規(guī)律的研究現(xiàn)狀。對(duì)無(wú)限均勻彈性體的三維波動(dòng)方程進(jìn)行了理論總結(jié),詳細(xì)介紹了已有的振動(dòng)衰減預(yù)測(cè)公式,分析了Bornitz公式、楊先健公式、王貽蓀公式的區(qū)別和聯(lián)系。（2）通過(guò)在擬建場(chǎng)地上使用渣土重載車(chē)在壓實(shí)土路上行駛,模擬交通荷載振源,測(cè)試了場(chǎng)地振動(dòng)響應(yīng)。在時(shí)域和頻域上的分析了不同車(chē)速、不同車(chē)重工況下的場(chǎng)地振動(dòng)衰減規(guī)律。研究發(fā)現(xiàn):同一輛渣土車(chē)在壓實(shí)土路上行駛時(shí),增加車(chē)速會(huì)增大場(chǎng)地的振動(dòng)響應(yīng),而增加車(chē)重卻可能減小地面振動(dòng)響應(yīng)。以楊先健在《動(dòng)力基礎(chǔ)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB...

【文章頁(yè)數(shù)】：92 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1振源和傳播路徑Fig.1-1Vibrationsourceandpropagationpath上述的幾種類(lèi)型的振源對(duì)精密儀器的干擾具有不同的擾動(dòng)頻率

先要考慮的就是建筑所在場(chǎng)地的振源特性及場(chǎng)地振動(dòng)衰減情測(cè)的方法確定場(chǎng)地的情況，而針對(duì)包含不同頻段范圍，不同土中的傳播規(guī)律往往也是不一樣的。工業(yè)廠房中常見(jiàn)的人工移動(dòng)隨機(jī)振源以及具有固定振動(dòng)頻率的動(dòng)力設(shè)備基礎(chǔ)為代表和動(dòng)力設(shè)備基礎(chǔ)引起的振動(dòng)特性及在地基土中的傳播規(guī)律要意義。的危害動(dòng)對(duì)精密....

圖1-2AEST光刻機(jī)的環(huán)境振動(dòng)控制值

的精密儀器設(shè)備制定了不同的允許振動(dòng)限制，振動(dòng)會(huì)使精密機(jī)床的加工精度下降，降低良具，機(jī)械部位的損壞。設(shè)備的振動(dòng)情況進(jìn)行評(píng)價(jià)，研究者們將容許振生產(chǎn)商根據(jù)自身設(shè)備所具備的防微振性能及振且其所選用的物理量可能是位移、速度或者加控制要求也有進(jìn)一步加強(qiáng)的趨勢(shì)。，在IC的生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中，....

圖1-3ASML的光刻機(jī)環(huán)境振動(dòng)控制值

圖1-3ASML的光刻機(jī)環(huán)境振動(dòng)控制值Fig.1-3AmbientvibrationcontrolvalueofASMLlithographymachine可見(jiàn)，如果沒(méi)有具體的表述微振動(dòng)的物理量指標(biāo)，會(huì)對(duì)測(cè)試以及設(shè)計(jì)工作帶來(lái)麻煩和困擾，如果針對(duì)某種類(lèi)型的廠房可以提....

圖1-4精密設(shè)備通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)（VC）曲線

圖1-4精密設(shè)備通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)（VC）曲線Fig.1-4Generalequipmentvibrationstandard(VC)1-2精密設(shè)備通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)（VC）曲線應(yīng)用范圍ble1-2Precisionequipmentgeneralvibratio....

本文編號(hào)：4025545