發(fā)布時間：2017-09-23 11:13

  本文關(guān)鍵詞：光刻物鏡中主動透鏡的變形和像差特性

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【摘要】：高精度光刻投影物鏡在工作過程中吸收激光能量產(chǎn)生熱像差,在離軸照明模式(如偶極照明)下,熱像散顯著且隨時間變化,傳統(tǒng)的被動光學方法無法補償此類像差。提出在折射式光刻投影物鏡系統(tǒng)中使用主動光學的方法,通過力促動器作用在透鏡上使鏡片變形以補償初階熱像散。采用有限元分析方法,分析了簡化的折射平板在促動力作用下的變形特點和像差特性;用幾何光學理論近似論證了該補償方案的可行性,并且分析了促動器分布、促動力大小、促動器與平板接觸區(qū)域尺寸以及支撐結(jié)構(gòu)對平板變形的影響。結(jié)果表明,在優(yōu)化的支撐結(jié)構(gòu)下,主動平板可以較好地補償系統(tǒng)初階熱像散和初階四葉像差,為光刻系統(tǒng)熱像差的補償提供了一個思路。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應(yīng)用光學國家重點實驗室;中國科學院大學;
【關(guān)鍵詞】： 光學設(shè)計 主動光學 光刻物鏡 熱像差補償 像散
【基金】：科技部中白合作項目(2011DFR10010) 吉林省自然科學基金(20140203001GX)
【分類號】：TN305.7
【正文快照】： 1引言高精度光刻投影物鏡在長時間工作過程中,由于鏡片吸收熱量造成溫度升高,導(dǎo)致折射率、面型以及應(yīng)力狀態(tài)改變,從而產(chǎn)生熱像差,系統(tǒng)分辨率明顯降低。為了減小裝調(diào)誤差及裝調(diào)應(yīng)力的影響,光刻物鏡中部分透鏡單元可以通過微調(diào)機構(gòu)進行姿態(tài)調(diào)整,以補償由誤差引起的傾斜以及關(guān)于

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本文編號：904926