本文關(guān)鍵詞：亞波長抗反射光柵的設(shè)計

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【摘要】：設(shè)計了一種具有波長和偏振模式選擇特性的GaAs材料的亞波長抗反射光柵,工作波長為976nm。采用等效介質(zhì)理論與薄膜理論對光柵進(jìn)行初步設(shè)計,基于嚴(yán)格耦合波法依次對光柵占空比、脊高和周期進(jìn)行優(yōu)化確定,同時分析了各個參數(shù)對光柵透射率的影響。所設(shè)計的抗反射光柵分別具有99.99%(橫電模)和99.86%(橫磁模)的高透射率,并且在976nm±30nm的范圍內(nèi)保持99%以上的高透射率,滿足器件應(yīng)用要求。最后研究了工藝誤差導(dǎo)致的光柵非矩形形貌對光柵透射率以及偏振優(yōu)勢模式的影響。
【作者單位】： 長春理工大學(xué)高功率半導(dǎo)體激光國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 光柵 亞波長結(jié)構(gòu) 等效介質(zhì)理論 半導(dǎo)體激光器
【分類號】：TN202
【正文快照】： 亞波長光柵是一種典型的亞波長衍射光學(xué)元件,具有抗/增反射、偏振雙折射、低吸附性、大角度范圍高透射率、高耐久性與高損傷閾值等優(yōu)良特性。隨著近年來微加工技術(shù)的發(fā)展及相應(yīng)理論的日漸成熟,具有特殊性能的亞波長光柵備受青睞,廣泛應(yīng)用于多種光學(xué)器件及光源,如偏振耦合器[1-

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本文編號：788293