發(fā)布時(shí)間：2017-09-02 12:42

  本文關(guān)鍵詞：基于交替相移掩模矢量空間像的偏振像差檢測(cè)方法

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【摘要】：提出一種基于交替相移掩�？臻g像的光刻機(jī)投影物鏡偏振像差檢測(cè)方法。采用泡利-澤尼克系數(shù)表征偏振像差,結(jié)合X和Y兩種線性偏振照明方式,用像傳感器測(cè)量不同照明條件下掩�？臻g像的成像位置偏移與最佳焦面偏移,利用標(biāo)定的偏振像差靈敏度矩陣計(jì)算獲得泡利-澤尼克系數(shù)。采用光刻仿真軟件對(duì)本文方法的有效性進(jìn)行了驗(yàn)證,結(jié)果表明其檢測(cè)精度優(yōu)于3.07 mλ。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);新疆師范大學(xué)物理與電子工程學(xué)院;中芯國(guó)際集成電路制造有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 成像系統(tǒng) 光學(xué)制造 光刻 偏振像差 泡利-澤尼克系數(shù) 偏振像差測(cè)量
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61275207,61205102,61474129,61405210)
【分類號(hào)】：TN305.7
【正文快照】： 隨著光刻特征尺寸的不斷減小,光刻機(jī)的偏振效應(yīng)越來(lái)越突顯。作為光刻機(jī)偏振效應(yīng)的一個(gè)主要來(lái)源,投影物鏡的偏振像差會(huì)引起圖形位置偏移(IPE)、最佳焦面偏移(BFS)和圖形特征尺寸(CD)誤差等,導(dǎo)致成像質(zhì)量和工藝窗口的惡化[1-3]。當(dāng)采用高數(shù)值孔徑(NA)投影物鏡和偏振照明時(shí),偏振，

本文編號(hào)：778655