本文關(guān)鍵詞：不同結(jié)構(gòu)紅外光導(dǎo)探測(cè)器組件光串分析

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【摘要】：紅外探測(cè)器組件作為目標(biāo)探測(cè)和成像系統(tǒng)的核心器件,其空間分辨能力直接影響著探測(cè)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。評(píng)估探測(cè)器組件空間分辨能力時(shí),常使用調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF),而探測(cè)器組件光學(xué)串音是影響探測(cè)器組件MTF的主要因素。介紹了一套彌散斑直徑為30μm的紅外小光點(diǎn)測(cè)試系統(tǒng),并用于測(cè)試不同結(jié)構(gòu)紅外探測(cè)器組件的線擴(kuò)散函數(shù)(LSF)來評(píng)價(jià)組件的光學(xué)串音。測(cè)試結(jié)果表明:疊層電極結(jié)構(gòu)側(cè)面存在的光響應(yīng)會(huì)導(dǎo)致LSF展寬和次峰等現(xiàn)象,該結(jié)果為紅外探測(cè)器組件光學(xué)串音設(shè)計(jì)提供了參考。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理所傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室紅外成像材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 線擴(kuò)散函數(shù) 光學(xué)串音 紅外探測(cè)器 空間分辨率
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61376052)
【分類號(hào)】：TN215
【正文快照】： 0引言隨著探測(cè)技術(shù)的不斷發(fā)展,紅外探測(cè)器組件在軍用和民用上的應(yīng)用越來越廣泛[1],紅外探測(cè)器組件的性能也不斷提高,尤其是對(duì)探測(cè)系統(tǒng)的空間分辨率要求越來越高。探測(cè)系統(tǒng)的空間分辨率一般采用調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)進(jìn)行評(píng)價(jià),而影響探測(cè)系統(tǒng)MTF有連續(xù)光學(xué)系統(tǒng)意義上的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)、

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本文編號(hào)：569927