智能時(shí)代的來臨使得微顯示器件在消費(fèi)電子領(lǐng)域占據(jù)越來越重要的地位。繼液晶微顯示之后出現(xiàn)的有機(jī)微顯示器件因其全固態(tài)特性而倍受重視。受限于微顯示過小的像素尺寸,實(shí)現(xiàn)彩色有機(jī)微顯示采用有機(jī)白光器件結(jié)合彩色濾光膜的方法最為適宜。而白光器件中組分光較寬的發(fā)射光譜和彩色濾光膜較寬的透射譜使得有機(jī)微顯示存在像素色純度不高的問題。由于微腔效應(yīng)能夠?qū)ζ骷陌l(fā)光光譜進(jìn)行波長選擇和窄化,因此本論文圍繞利用微腔效應(yīng)獲得色純度較好的R、G、B單色像素展開研究,主要內(nèi)容如下:1、利用了不含稀有金屬的AZO透明導(dǎo)電膜作為腔長調(diào)節(jié)層,優(yōu)化了AZO（ZnO:Al）透明導(dǎo)電薄膜的性能。用磁控濺射的方法沉積AZO薄膜,改變沉積過程中的工藝參數(shù),探究不同工藝參數(shù)對AZO薄膜導(dǎo)電性能的影響,以獲得與有機(jī)微顯示兼容的導(dǎo)電性能良好的AZO薄膜。首先探究濺射時(shí)氬氣壓力與AZO薄膜方阻的關(guān)系,僅改變氬氣壓力,使之分別為5mTorr、10mTorr、15mTorr,濺射300nm厚度的AZO薄膜,測定方阻平均值分別為2216Ω/□、2629Ω/□和2943Ω/□。由實(shí)驗(yàn)結(jié)果得出,AZO薄膜的方阻隨著氬氣壓力的降低而降低,但過低的氣壓導(dǎo)致難... 

【文章來源】：吉林大學(xué)吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：63 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 有機(jī)微顯示
        1.2.1 有機(jī)微顯示的國內(nèi)外現(xiàn)狀
        1.2.2 彩色有機(jī)微顯示
    1.3 有機(jī)頂發(fā)射白光OLED器件
        1.3.1 OLED原理
        1.3.2 頂發(fā)射白光OLED器件的研究進(jìn)展
    1.4 OLED器件中的微腔效應(yīng)
        1.4.1 利用微腔效應(yīng)獲得單色光的研究進(jìn)展
        1.4.2 微腔效應(yīng)原理
    1.5 本論文的主要工作
第二章 AZO透明導(dǎo)電膜的性能研究
    2.1 引言
    2.2 AZO薄膜的導(dǎo)電機(jī)制
        2.2.1 AZO薄膜的結(jié)構(gòu)
        2.2.2 AZO薄膜的導(dǎo)電機(jī)制和光學(xué)性質(zhì)
    2.3 AZO薄膜的制備
    2.4 實(shí)驗(yàn)部分
        2.4.1 氬氣壓力對AZO方阻的影響
        2.4.2 襯底溫度對AZO方阻的影響
        2.4.3 退火溫度對AZO方阻的影響
        2.4.4 AZO薄膜的透過率和功函數(shù)
    2.5 本章小結(jié)
第三章 白光器件的制備及改善RGB單色光色純度的研究
    3.1 白光OLED器件
    3.2 有機(jī)發(fā)光器件中RGB三個(gè)單色光的獲得
        3.2.1 AZO厚度的選定
        3.2.2 RGB單色光器件的實(shí)現(xiàn)
    3.3 本章小結(jié)
第四章 總結(jié)
參考文獻(xiàn)
作者簡介及在學(xué)期間所取得的科研成果
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法制備Al摻雜ZnO透明導(dǎo)電膜[J]. 謝春燕,張躍.  硅酸鹽學(xué)報(bào). 2010(01)
[2]摻鋁氧化鋅薄膜的制備及應(yīng)用研究進(jìn)展[J]. 李哲,劉輝.  云南化工. 2008(02)
[3]ZAO薄膜的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[J]. 陸峰,徐成海,聞立時(shí).  真空與低溫. 2001(03)
[4]AZO透明導(dǎo)電薄膜的特性、制備與應(yīng)用[J]. 范志新.  光電子技術(shù). 2000(04)
[5]透明導(dǎo)電膜中光吸收邊的移動(dòng)[J]. 張德恒.  半導(dǎo)體雜志. 1998(03)

博士論文
[1]關(guān)于改善硅基頂發(fā)射有機(jī)電致發(fā)光器件性能的研究[D]. 陳淑芬.吉林大學(xué) 2007

碩士論文
[1]溶膠—凝膠法制備ITO和AZO薄膜材料及其性能研究[D]. 張麗麗.內(nèi)蒙古師范大學(xué) 2013



本文編號：3461691