發(fā)布時(shí)間：2021-08-06 07:40

　　本工作采取射頻等離子體加強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（RF-PECVD）技術(shù),以H2稀釋的CH4和SiH4作為作用氣體,分別在石英襯底和單晶硅襯底上制備了a-Si:H/a-Si C:H多層薄膜,并利用高溫?zé)嵬嘶鸱椒ㄖ苽淞司Я３叽缈煽氐膎c-Si:H/a-SiC:H多層結(jié)構(gòu)薄膜。利用透射電子顯微鏡（TEM）、X射線衍射儀（XRD）、Raman散射光譜儀對(duì)樣品的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征,證明了我們制備的多層結(jié)構(gòu)薄膜界面陡峭且周期性良好;在1050℃溫度下,20分鐘納米硅顆粒就會(huì)生長(zhǎng)到與子層厚相當(dāng)?shù)某叽�。利用分光光度�?jì)對(duì)nc-Si:H/a-SiC:H多層結(jié)構(gòu)薄膜的透射和反射進(jìn)行測(cè)量并分析,結(jié)果表明:隨著勢(shì)阱層厚度的減小,樣品的吸收系數(shù)會(huì)減小,光學(xué)帶隙增大;勢(shì)壘層厚度對(duì)薄膜的光吸收并沒有很大影響。利用半導(dǎo)體特性分析儀對(duì)a-Si:H（nc-Si:H）/a-SiC:H多層薄膜的垂直輸運(yùn)特性進(jìn)行測(cè)量,分析表明:在對(duì)a-Si:H/a-SiC:H多層膜的垂直輸運(yùn)特性研究中發(fā)現(xiàn)了共振隧穿,而對(duì)于nc-Si:H/a-SiC:H多層結(jié)構(gòu),在低場(chǎng)下的隧穿機(jī)制為直接隧穿,高場(chǎng)強(qiáng)下的載流子輸運(yùn)符合Fowler–Nordheim（FN）隧... 

【文章來源】：河北大學(xué)河北省

【文章頁(yè)數(shù)】：57 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

實(shí)驗(yàn)采用的PECVD系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖

圖 2.3 多層結(jié)構(gòu)薄膜 XRD 測(cè)試示意圖膜剖面結(jié)構(gòu)微鏡即 Transmission Electron Microscope（TEM），簡(jiǎn)稱透子槍、樣品室、物鏡、中間鏡、透射鏡六部分。由于其具點(diǎn)，經(jīng)常用來探測(cè)觀察納米材料的超微結(jié)構(gòu)，通過照片可晶粒尺寸、晶面間距、界面特性等信息�；驹硎前哑�，由于電子會(huì)與薄膜結(jié)構(gòu)內(nèi)的原子發(fā)生相互作用而改變射，而散射角的大小與樣品的特性有直接關(guān)系，會(huì)在 TE測(cè)量之前需要研磨樣品而后進(jìn)行離子減薄等工藝過程的處制造的Tecnai F20高分辨率TEM 對(duì)制備的a-Si:H/a-SiC

河北大學(xué)理學(xué)碩士學(xué)位論文122 d sin k （2.5）圖 2.3 多層結(jié)構(gòu)薄膜 XRD 測(cè)試示意圖2.2.4 多層薄膜剖面結(jié)構(gòu)透射電子顯微鏡即 Transmission Electron Microscope（TEM），簡(jiǎn)稱透射電鏡，一般包括聚光鏡、電子槍、樣品室、物鏡、中間鏡、透射鏡六部分。由于其具有分辨率高、放大倍數(shù)高等特點(diǎn)，經(jīng)常用來探測(cè)觀察納米材料的超微結(jié)構(gòu)，通過照片可以分析薄膜的剖面結(jié)構(gòu)、晶向、晶粒尺寸、晶面間距、界面特性等信息�；驹硎前呀�(jīng)過加速的電子束射向超薄樣品，由于電子會(huì)與薄膜結(jié)構(gòu)內(nèi)的原子發(fā)生相互作用而改變運(yùn)動(dòng)方向，從而產(chǎn)生立體角散射，而散射角的大小與樣品的特性有直接關(guān)系，會(huì)在 TEM 照片上有直接反映。對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)量之前需要研磨樣品而后進(jìn)行離子減薄等工藝過程的處理，本課題采用由美國(guó)FEI公司制造的Tecnai F20高分辨率TEM 對(duì)制備的a-Si:H/a-SiC:H多層結(jié)構(gòu)薄膜和 nc-Si:H/a-SiC:H 多層結(jié)構(gòu)薄膜的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征，分辨率為 0.2nm。2.2.5 光學(xué)特性測(cè)試紫外-可見-近紅外（UV-VIS-NIR）分光光度計(jì)是利用波長(zhǎng)從紫外到可見光再到近紅外區(qū)域的光子照射樣品，可以測(cè)量樣品的透射曲線、反射曲線等，一般包括光源

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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