【摘要】：有機(jī)胺堿可與銅離子反應(yīng)且產(chǎn)物在堿性條件下溶于水,這為硅通孔(TSV)銅膜的堿性化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)提供了有利條件。研究了大分子有機(jī)胺堿對銅膜化學(xué)機(jī)械拋光的影響。首先測試了不同體積分?jǐn)?shù)有機(jī)胺堿對堿性拋光液中磨料粒徑和Zeta電位的影響,然后在直徑3英寸(1英寸=2.54 cm)銅片上模擬了不同體積分?jǐn)?shù)有機(jī)胺堿對銅去除速率的影響。實驗結(jié)果表明:有機(jī)胺堿對拋光液中磨料粒徑和Zeta電位沒有影響;隨著有機(jī)胺堿體積分?jǐn)?shù)的增加,銅的去除速率先快速增加,達(dá)到一峰值后趨于穩(wěn)定,最后略有下降;當(dāng)有機(jī)胺堿的體積分?jǐn)?shù)為5%時,TSV圖形片銅膜去除速率達(dá)到最高值2.1μm/min,剩余銅膜總厚度差減小到1.321 76 nm,實現(xiàn)了納米級的化學(xué)機(jī)械拋光。

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 唐忠林;楊建華;俞俊峗;徐穎;;可視嗅覺系統(tǒng)對4種環(huán)狀有機(jī)胺的識別[J];儀器儀表學(xué)報;2010年01期

相關(guān)會議論文 前4條

1 王志琴;穆琳;高元哲;;有機(jī)胺參與調(diào)控得到的兩例新型銻釩氧簇合物[A];中國晶體學(xué)會第五屆全國會員代表大會暨學(xué)術(shù)大會（晶體生長分會場）論文摘要集[C];2012年

2 沙保峰;張小轉(zhuǎn);王靜;徐其超;趙亮;;纖維吸附劑處理有機(jī)胺廢水的實驗研究[A];中國化學(xué)會第28屆學(xué)術(shù)年會第2分會場摘要集[C];2012年

3 王觀娥;郭國聰;;以有機(jī)胺陽離子為模板構(gòu)筑無機(jī)-有機(jī)雜化材料[A];中國化學(xué)會第27屆學(xué)術(shù)年會第08分會場摘要集[C];2010年

4 彭浩南;劉太宏;趙珂如;崔紅;曹源;丁立平;房喻;;基于膽固醇傒酰亞胺衍生物的有機(jī)胺熒光傳感薄膜[A];中國化學(xué)會第十二屆全國應(yīng)用化學(xué)年會論文集[C];2011年

相關(guān)重要報紙文章 前4條

1 本報記者 曹陽 實習(xí)記者 王亞麗;十年撐起一片天[N];中國化工報;2006年

2 黎建明 邱正秋;有機(jī)胺法：高效、環(huán)保受青睞[N];中國冶金報;2008年

3 本報記者 杜文邋于波;自主創(chuàng)新：改寫中國有機(jī)胺歷史[N];中國企業(yè)報;2008年

4 張勝生;有機(jī)胺脫硫工藝技術(shù)在萊鋼4號265m~(2)燒結(jié)機(jī)的應(yīng)用[N];世界金屬導(dǎo)報;2011年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前2條

1 胡清靜;大氣中氨氣、銨鹽和有機(jī)胺鹽的研究[D];中國海洋大學(xué);2015年

2 郭超;有機(jī)胺溶液捕集二氧化碳的研究[D];大連理工大學(xué);2014年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前8條

1 姚博奇;齊聚對苯撐乙烯類凝膠劑的合成及其熒光傳感有機(jī)胺和酸性氣體的研究[D];吉林大學(xué);2016年

2 謝文晶;新型多孔材料負(fù)載有機(jī)胺對溫室氣體CO_2的捕集性能研究[D];山東大學(xué);2016年

3 王曼;基于不溶性有機(jī)胺強(qiáng)化Ca/Mg碳酸鹽沉淀的CO_2固化過程優(yōu)化及評價[D];山東大學(xué);2016年

4 許賢;有機(jī)胺溶劑用于煙氣中二氧化硫的脫除與回收[D];浙江大學(xué);2010年

5 侯洪蕾;有機(jī)胺改性MCM-41吸附富集CO_2[D];大連理工大學(xué);2012年

6 李萌萌;利用小分子有機(jī)胺催化制備納米二氧化硅顆粒并構(gòu)筑超親水/超疏水表面[D];河南大學(xué);2014年

7 劉建芳;無機(jī)酸和Fe~(2+)/Fe~(3+)對有機(jī)胺吸收/解吸SO_2氣體的影響[D];合肥工業(yè)大學(xué);2012年

8 高涵;有機(jī)胺法吸收二氧化碳及其性能研究[D];上海師范大學(xué);2011年

，

本文編號：2644329