發(fā)布時間：2017-12-03 02:16

  本文關(guān)鍵詞：單晶藍寶石的摩擦化學(xué)機械拋光

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【摘要】：為揭示拋光過程中SiO_2磨粒與藍寶石的摩擦化學(xué)反應(yīng)機理,結(jié)合摩擦化學(xué)理論和納米壓痕試驗方法,采用有限元法模擬納米壓頭壓入與卸載后藍寶石表面的應(yīng)力分布情況.數(shù)值模擬結(jié)果表明:當(dāng)SiO_2磨粒與藍寶石的接觸應(yīng)力為5~15GPa時,發(fā)生固相反應(yīng)所需活化能約為14.46kJ/mol,反應(yīng)速率常數(shù)約為0.07~0.23μm/min;在摩擦化學(xué)反應(yīng)過程中,SiO_2磨粒與藍寶石的接觸半徑為15~21nm,其變形量為6.88~10.22nm.低載荷納米壓痕試驗結(jié)果表明:忽略壓頭與SiO_2磨粒的硬度、幾何形狀等影響因素,單顆SiO_2磨粒上的作用力小于0.7 mN,其微觀表面粗糙度R_t=38.19nm及R_a=3.62nm.
【作者單位】： 浙江工業(yè)大學(xué)特種裝備制造與先進加工技術(shù)教育部重點實驗室;
【基金】：國家科技支撐計劃(2011BAK15B07) 國家自然科學(xué)基金項目(50705088) 教育部科學(xué)技術(shù)研究重點項目(210088) 浙江省科技廳公益性技術(shù)應(yīng)用研究計劃項目(2013C31024)資助
【分類號】：TG731;TN312.8
【正文快照】： 高亮度發(fā)光二極管(Light-Emitting Diode,LED)已廣泛用于節(jié)能照明中[1].藍寶石是常用的LED襯底材料,對其進行超精密加工的方法是以化學(xué)機械拋光為主,并使用SiO2、Fe2O3、MgO以及NaOH等磨粒,其中SiO2的加工效率最高[2].這些磨粒均可與Al2O3發(fā)生固相反應(yīng),分別生成富鋁紅柱石(Al6

【相似文獻】

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1 張蓓;趙雪丹;吳平;王建國;宋西平;;鎳-鈦合金彈性模量的測定[J];理化檢驗(物理分冊);2007年09期

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本文編號：1247097