發(fā)布時間：2022-01-13 00:31

　　由于加工和測量技術(shù)的不斷提高,其對于儀器設(shè)備精度和穩(wěn)定性的要求愈加嚴格。而限制這些儀器設(shè)備的精度和穩(wěn)定性的最大因素則是來自環(huán)境的振動,尤其是其中的低頻振動。針對這樣的問題,論文中提出了一種基于音圈電機的主被動復合隔振系統(tǒng)。該隔振系統(tǒng)可以應(yīng)用在超精密加工、測量領(lǐng)域以發(fā)揮儀器設(shè)備應(yīng)有的優(yōu)良性能。本文首先結(jié)合面電流法和鏡像法推導永磁體氣隙磁場的分布,建立了空氣間隙當中的磁感應(yīng)強度的解析計算公式。通過對算例Halbach陣列音圈電機的解析計算與ANSOFT的仿真數(shù)值對比驗證了所推導公式的正確性。然后基于解析公式對音圈電機的磁軛厚度、氣隙厚度、永磁體寬度三個尺寸參數(shù)進行設(shè)計,獲得了合適的尺寸參數(shù)。改進設(shè)計后的音圈電機磁場分布和ANSOFT仿真結(jié)果比較,磁感應(yīng)強度在整個計算區(qū)域內(nèi)的誤差都小于5%,力常數(shù)誤差只有6.2%,驗證了改進設(shè)計結(jié)果的正確性。然后本文通過對單自由度的被動隔振和主動隔振原理的分析,確定主動隔振和被動隔振的各自特點。分析主動控制選擇不同反饋量所產(chǎn)生的隔振特性。在以上分析之上,設(shè)計了單一自由度基于音圈電機的主動隔振系統(tǒng),并且通過仿真使得該隔振系統(tǒng)的性能得到驗證。最后在單自由度隔振平... 

【文章來源】：上海交通大學上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：146 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

Tokkyokiki公司產(chǎn)品

圖 1-7 Tokkyokiki 公司產(chǎn)品隔振效果圖olation performance of product of Tokkyoki動隔振產(chǎn)品則是以 TMC 公司的產(chǎn)品的主動隔振產(chǎn)品，并不是之前所提的

圖 1-8 TMC 主動隔振產(chǎn)品Fig. 1-8 Product of TMC Company動隔振致動器的方式是國內(nèi)外廠商最常此類產(chǎn)品通常音圈電機與被動隔振器并簧等。圖 1-9（a）是 Newport 公司的產(chǎn)

【參考文獻】：
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碩士論文
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[3]精密主動隔振臺控制系統(tǒng)設(shè)計與研究[D]. 王君鋒.華中科技大學 2013
[4]結(jié)構(gòu)振動半主動控制及其實用性研究[D]. 趙林.天津大學 2003



本文編號：3585741