基于非對稱音叉結(jié)構(gòu)的諧振沖擊式壓電直線馬達研究
【學位單位】:合肥工業(yè)大學
【學位級別】:碩士
【學位年份】:2019
【中圖分類】:TM30
【部分圖文】:
圖 1.1 壓電馬達的分類Fig 1.1 Classification of piezoelectric motors馬達原理及結(jié)構(gòu)達是典型的仿生馬達,仿照自然界尺蠖的運箝位裝置模擬尺蠖的前后足,使用一個伸縮-驅(qū)動-箝位”三個步驟實現(xiàn)馬達的運動。按照運要分為行走型[17-18]、推進型[19-20]和推進-行走 所示。
圖 1.1 壓電馬達的分類Fig 1.1 Classification of piezoelectric motors.2.1 尺蠖式壓電馬達原理及結(jié)構(gòu)尺蠖式壓電馬達是典型的仿生馬達,仿照自然界尺蠖的運動而得名。尺蠖電馬達采用兩個箝位裝置模擬尺蠖的前后足,使用一個伸縮裝置來模擬尺蠖體,通過“箝位-驅(qū)動-箝位”三個步驟實現(xiàn)馬達的運動。按照運動產(chǎn)生的機理[1蠖式壓電馬達主要分為行走型[17-18]、推進型[19-20]和推進-行走混合型[21-22]三類作原理如圖 1.2 所示。
第一章 緒論Chanwoo Moon 等人研制了一種新型快速尺蠖式壓電直線馬達[23],如圖 1.3(示,驅(qū)動元件采用了封裝式的壓電疊堆,馬達設(shè)計時加入了反饋系統(tǒng),因此具有較高的穩(wěn)定性,分辨率達到 50nm,最大行程為 100mm,最高速度為 10.2m出力達 10N。Ma 等人設(shè)計了一種行走型尺蠖式壓電馬達[24],如圖 1.3(b)所示夾緊機構(gòu)采用對稱杠桿放大結(jié)構(gòu),中間傳動機構(gòu)采用復合式橋架結(jié)構(gòu),執(zhí)行的工作行程為50mm,最小步距60μm,最大步距為105μm,最高速度達2.04mmnping Li 等利用 9 個壓電疊堆設(shè)計出了高精度旋轉(zhuǎn)尺蠖馬達[25],如圖 1.3(c),在頻率為 1Hz、驅(qū)動電壓 20V 時,最小步進角為 4.95μrad;在頻率 30Hz、電壓 100V 下,最大轉(zhuǎn)速可達 6508.5μrad/s,最大輸出力矩為 93.1N mm。孫先濤衛(wèi)海等人設(shè)計了一種直線-旋轉(zhuǎn)型尺蠖式馬達[26],如圖 1.3(d)所示,在直線模式下,該馬達的最小步距 0.049μm,最大運動速度 1450μm/s,最大輸出負 11.8N;在旋轉(zhuǎn)運動模式下時,該馬達最小步進角為 10.3μrad,最大轉(zhuǎn)270μrad/s,最大輸出力矩為 73.5N mm。
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