納米金摻雜二氧化鈦的制備及其表面增強(qiáng)效應(yīng)研究
【學(xué)位授予單位】:中國工程物理研究院
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2019
【分類號】:TM914.4;TQ134.11;TB383.1
【圖文】:
和試劑均按原樣使用,制備二氧化鈦薄膜及醇鈦Ti(OC3H7)4邋(99%,Sigma-Aldrich),碘化按邋MAI邋(Dyesol),spiro-OMeTAD邋(Lu磺酰亞胺鋰LiTFSI邋(Alfa邋Aesar),邋4-叔丁酸(:113(:0011(3411^-八1加吐),乙醇(:21160engdu),氯金酸(III)邋(Sigma-Aldrich),四電氟摻雜的氧化錫玻璃(FTO,薄層方阻15邋n的實(shí)驗(yàn)裝置包括制備各層薄膜使用的勻膠機(jī),清洗機(jī),以及在鈣鈦礦太陽能電池器件制備
片旋轉(zhuǎn)速度以及膠質(zhì)的變化分為四個(gè)階段:滴膠,加速旋轉(zhuǎn),勻速旋轉(zhuǎn)以及去邊。其中逡逑第三階段勻速旋轉(zhuǎn)階段是膠質(zhì)涂層厚度和均勻性控制的重要階段。滴膠階段是將膠質(zhì)溶逡逑劑沉積在基片上中心位置的過程。其中本文手動滴加的過程中需要控制薄膜的厚度,均逡逑勻性及重復(fù)性。滴膠過程采用靜態(tài)滴膠或動態(tài)滴膠兩種方式,靜態(tài)滴膠即在基片旋轉(zhuǎn)之逡逑前將膠質(zhì)滴加沉積在基片并布滿,而動態(tài)滴膠則是基片一邊以一定的速度旋轉(zhuǎn),一邊滴逡逑膠。其中當(dāng)膠質(zhì)或基片呈疏水性,可以選擇動態(tài)滴膠法,且動態(tài)滴膠法所需的滴膠量也逡逑相對較少。加速旋轉(zhuǎn)階段中基片以一定加速度旋轉(zhuǎn),膠質(zhì)溶劑開始向基片邊緣擴(kuò)散,會逡逑有部分膠質(zhì)被甩出基片,在基片的加速旋轉(zhuǎn)階段,旋轉(zhuǎn)速度和旋轉(zhuǎn)時(shí)間的準(zhǔn)確控制關(guān)系逡逑到薄膜厚度等質(zhì)量指標(biāo)。在勻速旋轉(zhuǎn)階段,膠質(zhì)的粘性力和揮發(fā)作用是影響薄膜厚度與逡逑均勻性的重要因素。當(dāng)膠質(zhì)溶劑在加速旋轉(zhuǎn)至設(shè)定速度是,已經(jīng)形成一定厚度的涂層,逡逑在接下來的勻速旋轉(zhuǎn)過程中,膠質(zhì)涂層所受到各個(gè)方向的力達(dá)到平衡,涂層的厚度與質(zhì)逡逑量達(dá)到最終狀態(tài)。逡逑影響薄膜質(zhì)量的重要因素一般包括勻膠的轉(zhuǎn)速和時(shí)間。勻膠轉(zhuǎn)速越快,時(shí)間越長,逡逑薄膜厚度越薄,而實(shí)際操作過程中影響勻膠過程的可變因素更多,所以可重復(fù)性亦是勻逡逑膠工藝的重要指標(biāo)。逡逑apply邋nanopartide逡逑
紫外-臭氧清洗是一種去除表面污染物的常用且高效的方法,利用紫外-臭氧清洗機(jī)逡逑可以在室溫條件下對樣品進(jìn)行表面清潔。該方法操作便捷,成本低廉,屬干法工藝。逡逑如圖2.4的原理圖中所示,紫外-臭氧清洗機(jī)中的低壓汞放電管可以產(chǎn)生兩種波長的逡逑紫外光,分別為184.9邋nm和253.7邋nm。其中,184.9邋nm波段的光可以分解氧分子并合逡逑成臭氧(03),而253.7邋nm波段的紫外光可以分解臭氧并產(chǎn)生高能活性氧(0*)。圖中逡逑展示了紫外-臭氧清洗機(jī)的工作原理,即利用氧分子生成臭氧,接著進(jìn)一步產(chǎn)生高能活逡逑性氧,高能活性氧與待清洗樣品表面的有機(jī)物發(fā)生反應(yīng),并在這個(gè)過程中對有機(jī)物分子逡逑進(jìn)行分解,主要產(chǎn)物即二氧化碳分子和水分子等,從而達(dá)到表面清潔的效果。逡逑紫外-臭氧清洗機(jī)主要可以去除掉的污染物包括光致抗蝕劑,樹脂,皮膚油脂,清逡逑潔溶劑殘留物以及硅油等,本文中樣品預(yù)處理環(huán)節(jié)涉及到多種上述有機(jī)物殘留物均可用逡逑本設(shè)備去除。逡逑基于上述紫外-臭氧清洗原理
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