本文關鍵詞： MEMS系統(tǒng) 微加工技術 微能源 微電池 微發(fā)電機　出處：《制造業(yè)自動化》2014年23期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：隨著微機械加工技術水平和微電子技術水平的提高,微機電系統(tǒng)得到了長足發(fā)展,能源供電裝置是微機電系統(tǒng)中重要的組成部分,普通能源供電裝置存在尺寸大、能量密度低、壽命短等缺點,許多學者都致力于研究新型微能源供電裝置。通過分析國內外參考文獻,對微能源領域當前研究熱點進行介紹,包括:微型鋅鎳電池、微型鋰電池、微型燃料電池、微型太陽能電池、微型同位素電池、微型內燃機、振動驅動微能源、摩擦發(fā)電機。多種微能源裝置各有特點,重點闡述了每種微能源裝置的工作原理、研究現(xiàn)狀以及當前研究需要克服的難題,最后概括了微能源裝置的未來發(fā)展趨勢。
[Abstract]:With the improvement of micromachining technology and microelectronics technology, MEMS has been developed rapidly. The energy supply device is an important part of MEMS. Ordinary energy power supply devices have the disadvantages of large size, low energy density, short life, and so on. Many scholars have devoted themselves to the study of new micro-energy power supply devices, through the analysis of domestic and foreign references. The current research hotspots in the field of micro energy are introduced, including: micro zinc nickel battery, micro lithium battery, micro fuel cell, micro solar cell, micro isotope battery, micro internal combustion engine, vibration driven micro energy. Friction generator. A variety of micro-energy devices have their own characteristics. The working principle of each micro-energy device, research status and the current research needs to overcome the difficulties. Finally, the future development trend of micro-energy equipment is summarized.
【作者單位】： 棗莊科技職業(yè)學院;
【分類號】：TM91-1
【正文快照】： 0引言微機電系統(tǒng)通常被稱為MEMS系統(tǒng)(Microelectro mechanical system),是隨著微機械加工技術和微電子技術的發(fā)展而逐漸形成的先進制造技術平臺,其突出特點是在微尺寸系統(tǒng)中集成了微傳感器、微執(zhí)行器、接口電路、微能源等多種裝置[1]。一般來說,MEMS系統(tǒng)性能穩(wěn)定、精度較高,適

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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2 深圳特區(qū)報記者 鄭向鵬　肖意;城市更新不需每年“大變臉”[N];深圳特區(qū)報;2012年

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本文編號：1474078