發(fā)布時間：2017-11-05 19:13

  本文關(guān)鍵詞：Gd靶激光等離子體6.7nm光源的實驗研究

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【摘要】：本文對Gd靶激光等離子體極紫外光源進行了實驗研究,在6.7 nm附近獲得了較強的輻射,并研究了6.7nm附近光輻射隨打靶激光功率密度變化的規(guī)律以及收集角度對極紫外輻射的影響.同時,對平面Gd靶激光等離子光源的離子碎屑角分布進行了測量,發(fā)現(xiàn)從靶面的法線到沿著靶面平行方向上Gd離子數(shù)量依次減少.進一步研究結(jié)果表明采用0.9 T外加磁場的條件下可取得較好的Gd離子碎屑阻擋效果.
【作者單位】： 長春理工大學理學院;
【基金】：國家自然科學基金(批準號:61178022) 長春市科技局項目(批準號:14KP007)資助的課題~~
【分類號】：TM923.01
【正文快照】： 1引言隨著13.5 nm極紫外光刻研發(fā)工作進入尾聲[1 4],世界眾多的研究機構(gòu)又開始了新一輪的更短工作波長、分辨率可優(yōu)于8 nm的下一代極紫外光刻的研究工作.在這方面,當前采用工作波長為6.7 nm極紫外光刻光源為該領(lǐng)域的研究熱點[5].類似于13.5 nm極紫外光刻的情形[6],亞-10 nm極

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