本文關鍵詞：壓電陶瓷電機驅動的三維微動定位平臺及驗證

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【摘要】：壓電陶瓷電機具有高分辨率和壓電驅動裝置的動態(tài)特性,具有體積小、結構緊湊、成本低、輸出力大、響應快、精度高、無電磁干擾等特點,但存在滯后誤差、垂向位移誤差,行程短的問題,尤其在電極損耗后,補償量增大,嚴重影響了定位精度和難以滿足三維加工的工作要求。該文通過對壓電陶瓷電機驅動的百毫米以上超精密加工三維結構平臺的性能研究,采用宏微雙驅動協(xié)調控制,實現(xiàn)大行程和小步距的有機結合,對微動精密工作臺性能進行實驗,得到了平臺運行的特性曲線。結果表明該機構的動態(tài)性和穩(wěn)態(tài)性能良好,實現(xiàn)超低速、響應快、超高分辨率、高精度的雙向步進運動,可以達到亞微米至納米量級的定位精度,滿足極微細電火花加工的高精度要求,為進一步研究壓電陶瓷電機在超精密運動系統(tǒng)的應用、提高系統(tǒng)的定位精度,提供科學依據(jù)。
【作者單位】： 臺州職業(yè)技術學院機電工程學院;沈陽工業(yè)大學機械工程學院;
【關鍵詞】： 壓電陶瓷電機 微細加工 三維微定位 最小步進 大行程
【基金】：浙江省自然科學基金資助項目(LY14E050001) 浙江省2014年高等學校訪問學者專業(yè)發(fā)展基金資助項目(FX2014173) 2013年度浙江省高職高專院校專業(yè)帶頭人專業(yè)領軍基金資助項目(lj2013140)
【分類號】：TM32
【正文快照】： 0引言隨著現(xiàn)代制造技術的發(fā)展,學科交叉、復合加工技術的特點日益突出,而現(xiàn)代的智能控制自動化制作和現(xiàn)代的超精密加工及納米加工,代表了當前先進制造技術發(fā)展的重要方向。超精密加工技術是機械制造業(yè)的重要發(fā)展方向,其科學技術水平已成為衡量一個國際綜合實力的重要標志。微

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本文編號：1085989