近些年來,PZT作為一種優(yōu)異的壓電材料,已被廣泛的應用到導航領域當中。在導航領域中,PZT材料憑借能夠激發(fā)和感受高頻振動的特點,被應用到固體波動陀螺諧振子壓電電極(Pt/PZT材料/Pt)的制備中,其中以在圓柱殼體諧振子上的應用最為廣泛。現(xiàn)階段圓柱殼體諧振子均采用塊體狀壓電電極,并用粘貼的方式固定在諧振子上。塊體狀壓電電極會在很大程度上降低諧振子的品質因子,從而降低諧振子的測量精度。本文通過MEMS技術和溶膠-凝膠法在兩種石英圓柱殼體諧振子上制備壓電電極(Pt/PZT薄膜/Pt),重點探究了PZT薄膜的制備工藝。PZT薄膜制備的探究工藝分為兩個方案:第一種方案為在石英基底上制備壓電電極,通過優(yōu)化溶膠-凝膠法中單次旋涂厚度和退火時間兩個參數(shù)來改善PZT薄膜質量;第二種方案為在沉積有氮化硅過渡層的石英基底上制備壓電電極,實現(xiàn)石英基底到PZT薄膜線性膨脹系數(shù)的過渡,減小PZT薄膜開裂的幾率。實驗對兩個方案的壓電電極PZT薄膜進行了性能的測試,主要包括XRD晶向分析、漏電流分析、介電性能分析和鐵電性能分析,分析結果具體如下:方案一中的PZT薄膜XRD晶向分析顯示隨著退火時間的增加,PZT薄膜的...

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【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 研究的背景和意義
    1.2 壓電電極在諧振子上應用的研究現(xiàn)狀
    1.3 本文的研究目的與研究內容
2 圓柱殼體諧振子壓電電極的設計及有限元仿真
    2.1 圓柱殼體諧振子壓電電極的材料選擇和工作原理
    2.2 圓柱殼體諧振子壓電電極的結構設計
    2.3 圓柱殼體諧振子壓電電極的有限元仿真
    2.4 本章小結
3 圓柱殼體諧振子壓電電極的制備
    3.1 壓電電極的制備工藝流程
    3.2 壓電電極的制備過程
    3.3 本章小結
4 圓柱殼體諧振子壓電電極的性能測試和分析
    4.1 XRD衍射晶向分析
    4.2 漏電流分析
    4.3 介電性能分析
    4.4 鐵電性能分析
    4.5 本章小結
5 圓柱殼體諧振子品質因子的測量
    5.1 品質因子測量原理
    5.2 品質因子測量過程
結論
參考文獻
攻讀碩士學位期間發(fā)表學術論文情況
致謝



本文編號：3745590