工藝參數(shù)對(duì)多晶硅定向凝固長(zhǎng)晶速率的影響研究
發(fā)布時(shí)間:2021-01-14 09:27
在光伏產(chǎn)業(yè)中,太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的質(zhì)量對(duì)光伏系統(tǒng)的光電轉(zhuǎn)化效率產(chǎn)生很重要的影響。而影響多晶硅質(zhì)量的因素除了材料本身的品質(zhì)之外,其生產(chǎn)加工工藝對(duì)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的質(zhì)量也有很重要的作用。其中多晶硅鑄錠過(guò)程中長(zhǎng)晶速率的檢測(cè)與控制問(wèn)題是工藝制定中很重要的環(huán)節(jié)。目前,關(guān)于鑄錠長(zhǎng)晶速率對(duì)多晶硅中雜質(zhì)的分布以及鑄錠質(zhì)量影響的研究較多,但是對(duì)鑄錠工藝對(duì)長(zhǎng)晶速率的影響的研究較少。因此,本論文針對(duì)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅定向凝固工藝的鑄錠過(guò)程開(kāi)展工作。從定向凝固的長(zhǎng)晶過(guò)程出發(fā),對(duì)多晶硅鑄錠生產(chǎn)進(jìn)行檢測(cè)得到長(zhǎng)晶速率變化曲線;從多晶硅鑄錠內(nèi)熱流量平衡進(jìn)行分析,利用模擬仿真工具得到鑄錠工藝參數(shù)對(duì)鑄錠爐熱場(chǎng)的影響規(guī)律,并提出對(duì)鑄錠定向凝固長(zhǎng)晶速率檢測(cè)的新方法,本論文得到的主要結(jié)論如下:(1)本論文基于定向凝固熱場(chǎng)中的熱平衡關(guān)系,得到了硅錠凝固過(guò)程中的溫度梯度變化規(guī)律。結(jié)果表明,在物理意義上,凝固過(guò)程中液相中溫度梯度與固相中溫度梯度的比值為η=-ks/kl+ρLv/Tm-T2x,此比值不是簡(jiǎn)單線性關(guān)系,隨定向凝固的進(jìn)行,液固相溫度梯度比值增加,且其增加速率減緩。(2)基于定向凝固熱場(chǎng)的熱平衡關(guān)系和液固相溫度梯度比值的規(guī)律,推導(dǎo)得到...
【文章來(lái)源】:大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁(yè)數(shù)】:61 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【文章目錄】:
摘要
Abstract
第一章 緒論
1.1 鑄錠生產(chǎn)的背景及意義
1.2 鑄錠生產(chǎn)的國(guó)內(nèi)外現(xiàn)狀
1.3 鑄錠工藝存在的問(wèn)題
1.4 本文研究的內(nèi)容及路線
第二章 硅錠生產(chǎn)設(shè)備及典型工藝介紹
2.1 鑄錠爐設(shè)備
2.2 鑄錠爐熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)
2.3 典型鑄錠工藝
第三章 鑄錠溫度場(chǎng)與長(zhǎng)晶速率關(guān)系研究
3.1 鑄錠爐內(nèi)溫度場(chǎng)
3.1.1 鑄錠底面溫度計(jì)算
3.1.2 鑄錠表面溫度計(jì)算
3.2 鑄錠內(nèi)溫度梯度和長(zhǎng)晶速率的關(guān)系
3.3 鑄錠長(zhǎng)晶速率的計(jì)算
3.4 鑄錠實(shí)驗(yàn)與計(jì)算的長(zhǎng)晶速率對(duì)比
第四章 鑄錠工藝與溫度場(chǎng)的關(guān)系研究
4.1 鑄錠生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)
4.1.1 鑄錠工藝參數(shù)介紹
4.1.2 加熱工藝設(shè)計(jì)
4.1.3 散熱工藝設(shè)計(jì)
4.2 鑄錠工藝與溫度場(chǎng)的關(guān)系模擬
4.2.1 模擬軟件ProCAST的參數(shù)設(shè)置
4.2.2 主程序的模擬計(jì)算
4.3 鑄錠內(nèi)溫度場(chǎng)隨工藝的變化
4.3.1 溫度梯度隨加熱工藝的變化
4.3.2 溫度梯度隨散熱工藝的變化
4.4 鑄錠實(shí)驗(yàn)與模擬的溫度場(chǎng)對(duì)比
4.5 鑄錠實(shí)驗(yàn)與模擬計(jì)算的長(zhǎng)晶速率對(duì)比
第五章 結(jié)論與展望
5.1 結(jié)論
5.2 展望
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況
致謝
本文編號(hào):2976651
【文章來(lái)源】:大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁(yè)數(shù)】:61 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
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摘要
Abstract
第一章 緒論
1.1 鑄錠生產(chǎn)的背景及意義
1.2 鑄錠生產(chǎn)的國(guó)內(nèi)外現(xiàn)狀
1.3 鑄錠工藝存在的問(wèn)題
1.4 本文研究的內(nèi)容及路線
第二章 硅錠生產(chǎn)設(shè)備及典型工藝介紹
2.1 鑄錠爐設(shè)備
2.2 鑄錠爐熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)
2.3 典型鑄錠工藝
第三章 鑄錠溫度場(chǎng)與長(zhǎng)晶速率關(guān)系研究
3.1 鑄錠爐內(nèi)溫度場(chǎng)
3.1.1 鑄錠底面溫度計(jì)算
3.1.2 鑄錠表面溫度計(jì)算
3.2 鑄錠內(nèi)溫度梯度和長(zhǎng)晶速率的關(guān)系
3.3 鑄錠長(zhǎng)晶速率的計(jì)算
3.4 鑄錠實(shí)驗(yàn)與計(jì)算的長(zhǎng)晶速率對(duì)比
第四章 鑄錠工藝與溫度場(chǎng)的關(guān)系研究
4.1 鑄錠生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)
4.1.1 鑄錠工藝參數(shù)介紹
4.1.2 加熱工藝設(shè)計(jì)
4.1.3 散熱工藝設(shè)計(jì)
4.2 鑄錠工藝與溫度場(chǎng)的關(guān)系模擬
4.2.1 模擬軟件ProCAST的參數(shù)設(shè)置
4.2.2 主程序的模擬計(jì)算
4.3 鑄錠內(nèi)溫度場(chǎng)隨工藝的變化
4.3.1 溫度梯度隨加熱工藝的變化
4.3.2 溫度梯度隨散熱工藝的變化
4.4 鑄錠實(shí)驗(yàn)與模擬的溫度場(chǎng)對(duì)比
4.5 鑄錠實(shí)驗(yàn)與模擬計(jì)算的長(zhǎng)晶速率對(duì)比
第五章 結(jié)論與展望
5.1 結(jié)論
5.2 展望
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況
致謝
本文編號(hào):2976651
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