磁驅(qū)陰陽(yáng)球馬達(dá)的制備及其運(yùn)動(dòng)特性的研究
【文章頁(yè)數(shù)】:68 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-1幾種螺旋擺動(dòng)型微納米馬達(dá)a)Ni-Ag-Au三段式微納米馬達(dá)結(jié)構(gòu)示意圖
如圖1-1a)所示。該馬達(dá)由一端為Au作為馬達(dá)頭部,另一端為Ni作為馬達(dá)的尾部,中間部分為Ag作為馬達(dá)的連接部分,三部分組成總長(zhǎng)為6.5μm。在旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)下Ni段感受磁場(chǎng)的變化發(fā)生擺動(dòng)推動(dòng)馬達(dá)運(yùn)動(dòng),雖然馬達(dá)的速度較前者稍微降低到6μm/s。后來(lái),Pak....
圖1-2光刻工藝制備螺旋推進(jìn)型馬達(dá)的過(guò)程示意圖
工藝流程如圖1-2a)-f)所示,馬達(dá)結(jié)構(gòu)包括軟磁材料的頭部和螺旋形式的尾部如圖所示1-2g),通過(guò)改變旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)對(duì)馬達(dá)頭部旋轉(zhuǎn)磁矩的旋轉(zhuǎn)方向,實(shí)現(xiàn)對(duì)微納米馬達(dá)的方向。同期,Ghosh等人[29]也設(shè)計(jì)了類(lèi)似的結(jié)構(gòu),但是其制備的馬達(dá)長(zhǎng)度較短,速度更快。他們同樣采用微納米加工工....
圖1-3雙光子3D打印微納馬達(dá)[33]
圖1-2光刻工藝制備螺旋推進(jìn)型馬達(dá)的過(guò)程示意圖[28]a)-f)光刻工藝制備馬達(dá)流程示意圖;g)螺旋推進(jìn)型馬達(dá)SEM圖片,人們開(kāi)始利用雙光子激光3D打印技術(shù)、激光直寫(xiě)技術(shù)或術(shù)加工類(lèi)似的結(jié)構(gòu),加工效率較高可大量制備馬達(dá)。如Q1-3a)所示的雙光子3D打印技....
圖1-4幾種制備工藝不同的表面運(yùn)動(dòng)型磁驅(qū)馬達(dá)a)一大一小磁性顆粒通過(guò)DNA連接而成[37]
馬達(dá)與地面之間產(chǎn)生的摩擦力充當(dāng)阻礙作用,從而與地面接觸的顆粒充當(dāng)支點(diǎn)其余顆粒受到磁場(chǎng)的作用而發(fā)生旋轉(zhuǎn),繼而整個(gè)馬達(dá)發(fā)生連續(xù)的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生向前運(yùn)動(dòng)。該馬達(dá)長(zhǎng)度只有3μm,在頻率為32Hz的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)下馬達(dá)速度達(dá)到12μm/s,同時(shí)發(fā)現(xiàn)隨著頻率的增加,磁性顆粒將會(huì)發(fā)生斷裂....
本文編號(hào):3971128
本文鏈接:http://www.sikaile.net/jixiegongchenglunwen/3971128.html