液晶顯示行業(yè)對(duì)于高純銅濺射靶材濺射效率及沉積薄膜均勻性要求不斷提升,對(duì)于高純銅濺射靶材的晶粒細(xì)化、均勻性要求也越來(lái)越高。本文通過高純銅靶坯鍛打、熱處理、冷軋與熱處理四步法試驗(yàn),通過兩次動(dòng)態(tài)再結(jié)晶、靜態(tài)再結(jié)晶,從而達(dá)到晶粒細(xì)化、均勻化的目的,以此優(yōu)化現(xiàn)有工藝。通過熱力模擬試驗(yàn),研究了高純銅的高溫行為,研究表明,溫度達(dá)到500℃時(shí)出現(xiàn)明顯的動(dòng)態(tài)再結(jié)晶行為,變形量超過70%,細(xì)化作用趨緩。以此理論指導(dǎo),本文設(shè)計(jì)了四步法加工工藝,具體為:鍛打的溫度范圍控制為490℃⁵00℃,變形量控制在80%以上;一次熱處理:200℃³10℃,保溫時(shí)長(zhǎng):30min⁹0min;冷軋為單向軋制,變形量控制在56%⁷2%;二次熱處理:≥200℃,保溫時(shí)長(zhǎng):≥60min。高純銅一次細(xì)化工藝,由鍛打和熱處理兩步組成,通過采用溫度500℃、變形量80%的鍛打工藝,使晶粒細(xì)化至50μm⁷0μm;通過保溫溫度210℃³10℃、保溫時(shí)間30min⁹0min的一次熱處理工藝再次... 

【文章來(lái)源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

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【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 課題背景及研究的目的和意義
    1.2 金屬材料再結(jié)晶與晶粒細(xì)化
        1.2.1 金屬材料的動(dòng)態(tài)再結(jié)晶行為
        1.2.2 金屬材料的靜態(tài)再結(jié)晶行為
    1.3 銅與銅合金再結(jié)晶與晶粒細(xì)化
        1.3.1 銅合金再結(jié)晶與晶粒細(xì)化工藝
        1.3.2 純銅再結(jié)晶與晶粒細(xì)化工藝
    1.4 本文的主要研究?jī)?nèi)容
第2章 試驗(yàn)材料與試驗(yàn)方法
    2.1 技術(shù)路線
    2.2 試驗(yàn)材料
    2.3 試驗(yàn)所需儀器設(shè)備
    2.4 試驗(yàn)方案
        2.4.1 銅熱壓縮及動(dòng)態(tài)再結(jié)晶研究方案
        2.4.2 銅變形退火下的靜態(tài)再結(jié)晶行為研究方案
第3章 高純銅熱變形行為及再結(jié)晶工藝設(shè)計(jì)
    3.1 引言
    3.2 高純銅熱變形行為
        3.2.1 熱變形參數(shù)的影響
        3.2.2 加工硬化行為
        3.2.3 高純銅的軟化
        3.2.4 流變應(yīng)力本構(gòu)方程
    3.3 高純銅動(dòng)態(tài)再結(jié)晶的金相分析
        3.3.1 變形溫度對(duì)于動(dòng)態(tài)再結(jié)晶的作用
        3.3.2 變形量對(duì)動(dòng)態(tài)再結(jié)晶的影響
    3.4 高純銅晶粒細(xì)化工藝設(shè)計(jì)
        3.4.1 熱變形后再結(jié)晶工藝參數(shù)
        3.4.2 冷變形后再結(jié)晶工藝參數(shù)
    3.5 本章小結(jié)
第4章 熱變形后再結(jié)晶退火對(duì)高純銅晶粒尺寸的影響
    4.1 熱變形及再結(jié)晶退火試驗(yàn)設(shè)計(jì)
        4.1.1 鍛打試驗(yàn)設(shè)計(jì)
        4.1.2 鍛打后熱處理試驗(yàn)設(shè)計(jì)
    4.2 熱變形組織分析
    4.3 熱處理組織分析
    4.4 本章小結(jié)
第5章 冷變形后再結(jié)晶退火對(duì)高純銅晶粒尺寸的影響
    5.1 引言
    5.2 冷變形工藝對(duì)組織的影響
    5.3 冷變形后熱處理工藝對(duì)組織的影響
    5.4 LCD大型銅靶生產(chǎn)工藝驗(yàn)證
        5.4.1 LCD大型銅靶晶粒細(xì)化生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)及實(shí)施
        5.4.2 LCD大型銅靶晶粒度驗(yàn)證
    5.5 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)
致謝
個(gè)人簡(jiǎn)歷


【參考文獻(xiàn)】：
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本文編號(hào)：3197773