【摘要】：為了滿足微電子學以及儀器科學與技術等專業(yè)實踐教學與人才培養(yǎng)的需要,以MEMS加速度開關為應用對象,開展MEMS加工技術綜合性實驗研究。根據MEMS加速度開關的結構特點,設計加工工藝流程;以MEMS工藝理論知識為基礎,結合實踐教學,開展?jié)穹ǜg、陽極鍵合、ICP刻蝕等關鍵加工工藝研究,完成MEMS加速度開關原理樣品的研制。該實驗從器件結構、加工工藝到測試分析,簡單直觀,有利于學生全面掌握MEMS加工工藝,培養(yǎng)學生的科研興趣和實踐能力。
[Abstract]:In order to meet the needs of practical teaching and personnel training in microelectronics and instrument science and technology, a comprehensive experimental study on MEMS processing technology was carried out with MEMS acceleration switch as the application object. According to the structural characteristics of MEMS acceleration switch, the process flow is designed, and the key processing techniques, such as wet etching and anode bonding etching, are studied based on the theoretical knowledge of MEMS process and practical teaching. The development of MEMS acceleration switch principle sample is completed. The experiment is simple and intuitionistic from device structure, processing technology to test and analysis. It is helpful for students to master MEMS processing technology and cultivate students' interest in scientific research and practical ability.
【作者單位】： 重慶大學光電工程學院;
【基金】：國家自然科學基金專項基金科學儀器基金項目(61327002) 重慶大學教改項目(2015Y19)
【分類號】：TH-39

【參考文獻】

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本文編號：2255664