薄膜材料的種類繁多,常見的有氧化鋅（Zinc Oxide,簡稱Zn O）、氧化鎳（Nickel Oxide,簡稱Ni O）、二氧化鈦（Titanium Dioxide,簡稱TiO₂）以及摻雜的氧化物薄膜。其中納米級(jí)的TiO₂薄膜因其具有價(jià)廉、優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性和光學(xué)特性而備受關(guān)注。目前,TiO₂薄膜已被廣泛應(yīng)用于新能源的開發(fā)、太陽能的利用以及環(huán)境凈化等方面。本文首先介紹了TiO₂薄膜的結(jié)構(gòu)、性質(zhì)、用途、常見的改性方法以及制備方法。其次在Si片和玻璃襯底上,選用溶膠-凝膠旋涂法合成了不同溶膠濃度的未摻雜TiO₂薄膜、Ag單摻雜TiO₂薄膜和Ag-Zn共摻雜的TiO₂薄膜。最后利用X射線衍射儀（X-ray diffraction,簡稱XRD）、掃描電子顯微鏡（Scanning electron microscope,簡稱SEM）和紫外-可見分光光度計(jì)（Ultraviolet visible spectrophotometer,簡稱UV-Vis...

【文章頁數(shù)】：46 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 TiO₂的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)
        1.2.1 TiO₂的結(jié)構(gòu)
        1.2.2 TiO₂的性質(zhì)
    1.3 TiO₂的應(yīng)用
        1.3.1 光催化劑
        1.3.2 光防紫外線功能
        1.3.3 紫外探測器
    1.4 TiO₂薄膜的改性方法
        1.4.1 優(yōu)化工藝參數(shù)
        1.4.2 元素?fù)诫s
        1.4.3 半導(dǎo)體薄膜復(fù)合
    1.5 TiO₂薄膜的制備方法
        1.5.1 化學(xué)氣相沉積法
        1.5.2 磁控濺射法
        1.5.3 分子束外延法
        1.5.4 溶膠-凝膠法
    1.6 本論文的主要研究內(nèi)容
2 TiO₂薄膜的制備及表征
    2.1 實(shí)驗(yàn)試劑與設(shè)備
        2.1.1 實(shí)驗(yàn)試劑
        2.1.2 實(shí)驗(yàn)設(shè)備
    2.2 薄膜的制備過程
        2.2.1 襯底的清洗
        2.2.2 溶膠的制備
        2.2.3 旋涂法鍍膜
    2.3 薄膜的表征手段
        2.3.1 晶格結(jié)構(gòu)表征
        2.3.2 薄膜厚度表征
        2.3.3 光透過性能表征
        2.3.4 表面形貌表征
        2.3.5 樣品表征所用的儀器設(shè)備
    2.4 溶膠濃度對(duì)TiO₂薄膜的影響
        2.4.1 XRD分析
        2.4.2 SEM分析
        2.4.3 光學(xué)性能分析
    2.5 本章小結(jié)
3 Ag摻雜量對(duì)TiO₂薄膜光學(xué)性能的影響
    3.1 XRD分析
    3.2 SEM分析
    3.3 光學(xué)性能分析
    3.4 本章小結(jié)
4 Zn摻雜量對(duì)Ag-Zn共摻雜TiO₂ 薄膜光學(xué)性能的影響
    4.1 XRD分析
    4.2 SEM分析
    4.3 光學(xué)性能分析
    4.4 本章小結(jié)
5 結(jié)論
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況
致謝



本文編號(hào)：4022373