發(fā)布時(shí)間：2022-08-23 10:45

　　近年來(lái),隨著我國(guó)在電子制造相關(guān)行業(yè)取得一系列重大技術(shù)突破,中國(guó)已成為世界上最大的液晶顯示器生產(chǎn)基地。與此同時(shí)在薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）制造行業(yè)中,也暴露出了很多新的職業(yè)健康問(wèn)題,尤其是光刻崗位大量使用的有機(jī)物問(wèn)題。某些有機(jī)物的主要成分國(guó)家沒(méi)有規(guī)定其職業(yè)接觸限值,沒(méi)有相關(guān)的職業(yè)衛(wèi)生檢測(cè)方法,甚至有關(guān)毒性研究也比較少。工廠異味四處彌漫,嚴(yán)重影響了員工的身心健康。因此對(duì)薄膜晶體管液晶顯示器制造行業(yè)有害氣體擴(kuò)散研究是很有必要的。本文采用數(shù)值模擬法對(duì)TFT-LCD制造業(yè)光刻崗位有機(jī)氣體擴(kuò)散規(guī)律、通風(fēng)系統(tǒng)的通風(fēng)效果及優(yōu)化指標(biāo)展開(kāi)研究,以國(guó)內(nèi)某著名薄膜液晶顯示器制造廠為研究對(duì)象,采用Fluent軟件建立三維幾何模型,對(duì)不同排風(fēng)量、排風(fēng)口面積等設(shè)置條件下的通風(fēng)效果進(jìn)行了數(shù)值模擬研究,分析了丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）擴(kuò)散的速度場(chǎng)和濃度場(chǎng)分布規(guī)律,研究結(jié)果如下:（1）在未設(shè)計(jì)排風(fēng)系統(tǒng)時(shí),密閉罩外部z=0m斷面（地面）丙二醇甲醚醋酸酯主要聚集在0

【文章頁(yè)數(shù)】：66 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
    1.3 研究?jī)?nèi)容
    1.4 研究技術(shù)路線
2 TFT-LCD制造企業(yè)概述及模擬對(duì)象的選擇
    2.1 TFT-LCD制造企業(yè)概述
        2.1.1 生產(chǎn)車間介紹
        2.1.2 生產(chǎn)工藝介紹
    2.2 模擬對(duì)象選擇
        2.2.1 列陣車間的光刻工藝
        2.2.2 散逸物質(zhì)的選擇
3 光刻崗位有害氣體檢測(cè)及分布規(guī)律研究
    3.1 采樣點(diǎn)的選擇
    3.2 實(shí)驗(yàn)室方法測(cè)定光刻崗位丙二醇甲醚醋酸酯濃度
        3.2.1 實(shí)驗(yàn)方案
        3.2.2 丙二醇甲醚醋酸酯濃度結(jié)果分析
4 光刻崗位有害氣體擴(kuò)散的數(shù)值模擬基礎(chǔ)
    4.1 流體力學(xué)基礎(chǔ)
        4.1.1 求解控制方程
        4.1.2 控制方程的求解方法
    4.2 CFD軟件簡(jiǎn)介
    4.3 TFT-LCD車間光刻崗位的幾何模型
        4.3.1 幾何模型的建立
        4.3.2 網(wǎng)格的劃分
        4.3.3 邊界條件的設(shè)置
5 基于FIUENT的有害氣體擴(kuò)散規(guī)律與方案優(yōu)化
    5.1 基本模型模擬結(jié)果
        5.1.1 氣流速度場(chǎng)分析
        5.1.2 PGMEA濃度場(chǎng)分析
        5.1.3 模擬結(jié)果與現(xiàn)場(chǎng)對(duì)比
    5.2 影響PGMEA擴(kuò)散規(guī)律的因素與方案優(yōu)化
        5.2.1 排風(fēng)口面積對(duì)PGMEA擴(kuò)散規(guī)律的影響與優(yōu)化
        5.2.2 排風(fēng)風(fēng)量對(duì)PGMEA擴(kuò)散規(guī)律的影響與優(yōu)化
結(jié)論
展望
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士期間取得的研究成果
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]中國(guó)GBZ2.1與德國(guó)MAK工作場(chǎng)所化學(xué)有害因素職業(yè)接觸限值比較研究[J]. 李祈,張敏.  中國(guó)安全生產(chǎn)科學(xué)技術(shù). 2017(04)
[2]煤田火區(qū)有害氣體排放的環(huán)境影響評(píng)估方法研究[J]. 陳曉坤,桑長(zhǎng)波,李珍寶.  安全與環(huán)境工程. 2016(02)
[3]大空間建筑有毒有害氣體擴(kuò)散的仿真模擬研究[J]. 李輝,劉天生.  職業(yè)衛(wèi)生與應(yīng)急救援. 2016(01)
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[6]城市建筑群環(huán)境有毒有害氣體擴(kuò)散數(shù)值模擬[J]. 鄭茂輝,金敏,許建明.  同濟(jì)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2013(01)
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[10]某薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)企業(yè)職業(yè)病危害防護(hù)設(shè)施的效果[J]. 茆文革,張鋒,張力.  職業(yè)與健康. 2010(10)

碩士論文
[1]室內(nèi)空氣環(huán)境甲醛污染的數(shù)值模擬和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)[D]. 彭玉丹.天津大學(xué) 2010
[2]井噴事故分析與氣體擴(kuò)散研究[D]. 劉鵬舉.湖南科技大學(xué) 2009



本文編號(hào)：3677622