發(fā)布時間：2021-07-15 09:26

　　隨著全球科技的飛速發(fā)展和醫(yī)療水平的進步,人類的平均壽命大大提高,我國將無可避免地邁入老齡化社會。疾病的早期診斷和實時的健康監(jiān)控在未來會顯得尤為重要�，F(xiàn)有的醫(yī)療檢測儀器都十分龐大、昂貴,不適合家庭使用。因此,小型化、便攜式、可穿戴的醫(yī)療檢測裝置在醫(yī)療健康領域?qū)⒂泻艽蟮陌l(fā)展前景。傳感器是小型化醫(yī)療檢測裝置中核心的電子單元,它們把環(huán)境中的模擬量轉(zhuǎn)化為可供觀察的數(shù)字量,開發(fā)高性能、小型化傳感器是目前的研究熱點。近些年,聲表面波（SAW）器件在傳感領域備受關注,基于SAW器件的傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比,具有體積小,靈敏度高,成本低,功耗低,能和半導體工藝相結(jié)合等優(yōu)點,并且,SAW器件還可實現(xiàn)無線無源測量,非常適合在醫(yī)療健康領域使用。SAW器件還可作為微流體器件,用于對微流體中的細胞進行精確操控、篩選、排列、驅(qū)動等,在組織工程和再生醫(yī)學領域有很大的應用前景。本文主要研究的是新型SAW器件在醫(yī)療健康領域的應用,主要包括兩個方面:1、小型、可穿戴的新型傳感器研究;2、SAW微流體器件研究。本論文設計并制作了兩種類型的SAW呼吸傳感器,用于阻塞性睡眠呼吸暫停綜合征的實時監(jiān)測,一種基于128°Y-X Li ... 

【文章來源】：浙江大學浙江省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：134 頁

【學位級別】：博士

【部分圖文】：

（a）單端口諧振型SAW器件；（b）延遲線型SAW器件；（c）雙端口諧振型SAW器件；（d）SAWRFID器件

浙江大學博士學位論文4決定，可由式（1.1）計算得到[28]。有時為了改善器件的頻率特性或者實現(xiàn)特定的頻率響應，需要改變、、等參數(shù)，以得到不同的加權系數(shù)和延遲時間，這就用到了加權IDT，典型的結(jié)構圖如圖1.2（b）所示。加權IDT中各部位的金屬化率相差較大，金屬化率高的部位等效聲速較低，相位滯后，從而導致了波陣面的畸變。波陣面的畸變會導致器件性能的下降，所以為了使波陣面變均勻，通常會采用如圖1.2（c）所示帶有假指的變跡加權IDT。由于假指與鄰近電極具有相同的電勢，所以不會對波陣面的激勵產(chǎn)生貢獻，但它對聲表面波的傳播相位起到補償作用，從而使波陣面得到明顯改善。圖1.2IDT的結(jié)構圖：（a）均勻IDT；（b）加權IDT；（c）帶假指的加權IDT=（1.1）壓電襯底的聲速對溫度、濕度、壓力、應變、振動等環(huán)境參數(shù)十分敏感，因此可將SAW器件作為溫度傳感器[4,5]、濕度傳感器[6,7]、壓力傳感器[10,11]、應變傳感器[12]等，結(jié)合化學敏感膜，也可用來測量生化參數(shù)[7]�；赟AW器件的傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比，具有體積小，靈敏度高，成本低，功耗低，能和半導體工藝相結(jié)合等優(yōu)點，并且，SAW器件還可實現(xiàn)無線無

無線無源傳感系統(tǒng)

【參考文獻】：
期刊論文
[1]用于無線測溫系統(tǒng)的聲表面波反射型延遲線的耦合模精確仿真[J]. 王文,薛蓄峰.  聲學技術. 2013(S1)
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[3]聲表面波無線無源溫度監(jiān)測系統(tǒng)[J]. 王玉波,張立勇,單銘.  軟件導刊. 2013(02)
[4]應用于無線傳感器的聲表面波反射型延遲線的耦合模分析[J]. 徐方遷,王文,何世堂.  聲學學報. 2010(03)
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[7]聲表面波無源傳感器及其遙測系統(tǒng)的研究[J]. 李源,丁天懷,馮冠平,黎斌,陳民鋒.  電子學報. 1997(12)

博士論文
[1]聲波諧振器及其傳感器應用研究[D]. 軒偉鵬.浙江大學 2017
[2]聲表面波諧振器的高溫無線傳感特性研究[D]. 舒琳.電子科技大學 2016
[3]新型聲表面波傳感器及微流體致動器研究[D]. 王文博.浙江大學 2016
[4]柔性聲表面波器件基礎研究[D]. 周劍.浙江大學 2015
[5]薄膜體聲波諧振器（FBAR）技術的若干問題研究[D]. 金浩.浙江大學 2006
[6]無源無線聲表面波傳感器及儀器系統(tǒng)研究[D]. 李平.重慶大學 2003



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