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微光學(xué)集成導(dǎo)光板性能及制作技術(shù)研究

發(fā)布時(shí)間:2023-10-03 20:50
  背光模組作為現(xiàn)今普遍應(yīng)用的液晶顯示器的第二大關(guān)鍵組件,薄型化、高性能是其發(fā)展趨勢(shì)和研究熱點(diǎn);诒緦(shí)驗(yàn)室在新型集成導(dǎo)光板技術(shù)方面取得的大量研究成果,本論文在一體化背光模組的出射光高亮度均勻性、微光學(xué)導(dǎo)光板的光譜色散特性及集成導(dǎo)光板的制作技術(shù)這三方面進(jìn)一步深入研究,取得了以下研究成果:(1)修訂優(yōu)化了實(shí)現(xiàn)高亮度均勻性的系數(shù)表達(dá)式。優(yōu)化改進(jìn)了一體化導(dǎo)光板微棱鏡分布的三個(gè)系數(shù)關(guān)系表達(dá)式,分別精簡(jiǎn)了1/4、1/3、1/2的數(shù)值項(xiàng)數(shù),凸顯了各數(shù)值項(xiàng)的物理表征顯;運(yùn)用修訂后的表達(dá)式可直接求解得微棱鏡分布,使得所有7inch及以下的一體化背光模組出射光亮度均勻性均高于85%。仿真驗(yàn)證了修訂優(yōu)化后的表達(dá)式具有普適性,節(jié)省大量設(shè)計(jì)時(shí)間。(2)創(chuàng)建了寬帶衍射下微光學(xué)結(jié)構(gòu)參量與色散度的關(guān)系計(jì)算表達(dá)式。構(gòu)建了寬帶光源微結(jié)構(gòu)陣列衍射理論分析模型,分析了衍射光譜色度特性與物理參量間的關(guān)系;提出了能較準(zhǔn)確定量衡量寬帶衍射光束色散程度的色散量C及其計(jì)算式,明確給出了零色散的邊界判據(jù)點(diǎn);應(yīng)用微納加工技術(shù)制作了周期4μm、槽深1μm、占空比0.5,與設(shè)計(jì)值相一致的矩形位相光柵樣品,色散量C的實(shí)驗(yàn)測(cè)試值與理論計(jì)算值相一致,...

【文章頁(yè)數(shù)】:80 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】:博士

【文章目錄】:
摘要
Abstract
第一章 前言
    1.1 研究背景及意義
    1.2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 集成背光模組均勻性方面的研究現(xiàn)狀
        1.2.2 寬光譜微光學(xué)導(dǎo)光板色散特性方面的研究現(xiàn)狀
        1.2.3 無(wú)基膜高深寬比微光學(xué)集成器件方面的研究現(xiàn)狀
    1.3 本論文的研究?jī)?nèi)容及創(chuàng)新點(diǎn)
第二章 基本理論和研究基礎(chǔ)
    2.1 色度學(xué)基本概念及計(jì)算公式
    2.2 菲涅爾衍射理論及傅里葉分析常用定理
    2.3 望遠(yuǎn)鏡光學(xué)系統(tǒng)
    2.4 本實(shí)驗(yàn)室在集成背光模組方向的研究成果
    2.5 本章小結(jié)
第三章 一體化導(dǎo)光板微棱鏡分布表達(dá)式的修訂
    3.1 前期提出的微棱鏡系數(shù)關(guān)系表達(dá)式的不足
    3.2 微棱鏡系數(shù)關(guān)系表達(dá)式的修訂
        3.2.1 探討系數(shù)與導(dǎo)光板結(jié)構(gòu)參量相關(guān)的數(shù)值項(xiàng)
        3.2.2 系數(shù)關(guān)系表達(dá)式的二維函數(shù)擬合分析
    3.3 實(shí)例仿真驗(yàn)證修訂的系數(shù)關(guān)系表達(dá)式
    3.4 本章小結(jié)
第四章 寬光源微光學(xué)導(dǎo)光板衍射色散特性研究
    4.1 構(gòu)建寬帶光源微結(jié)構(gòu)陣列衍射理論模型及色散特性分析
        4.1.1 構(gòu)建寬帶光源微結(jié)構(gòu)陣列衍射理論模型
        4.1.2 白光LED的色光混合及匹配分解計(jì)算
        4.1.3 寬帶光源微結(jié)構(gòu)陣列的衍射光場(chǎng)求解
        4.1.4 色散量C的定義
        4.1.5 寬帶光源微結(jié)構(gòu)陣列的色散特性分析
    4.2 微結(jié)構(gòu)陣列–矩形位相光柵樣品的制作及測(cè)試
        4.2.1 微納加工技術(shù)制作矩形位相光柵樣品
        4.2.2 樣品的光譜色度測(cè)試分析
    4.3 寬光源微光學(xué)衍射色散特性研究結(jié)論的應(yīng)用實(shí)例
        4.3.1 菲涅爾透鏡衍射元件的設(shè)計(jì)原理
        4.3.2 亮白零色散菲涅爾透鏡的設(shè)計(jì)與制作
        4.3.3 彩虹色散菲涅爾透鏡的設(shè)計(jì)與制作
    4.4 本章小結(jié)
第五章 無(wú)基膜高深寬比微光學(xué)集成器件的制作技術(shù)研究
    5.1 構(gòu)建無(wú)基膜高深寬比雙面集成微結(jié)構(gòu)的初步制作技術(shù)方案
    5.2 探究解決制作過(guò)程的四大技術(shù)難點(diǎn)
        5.2.1 無(wú)基膜式剝離高深寬比結(jié)構(gòu)層
        5.2.2 脫膜式厭氧固化
        5.2.3 厚膜式均勻涂布
        5.2.4 無(wú)翹曲式固化成型
    5.3 無(wú)基膜高深寬比雙面集成微結(jié)構(gòu)的改進(jìn)制作方案
    5.4 兩款無(wú)基膜集成器件實(shí)驗(yàn)樣品的制作
    5.5 本章小結(jié)
第六章 5inch微光學(xué)集成導(dǎo)光板樣品的研制及測(cè)試分析
    6.1 第一款5inch集成導(dǎo)光板樣品的制作與測(cè)試分析
    6.2 灰度直寫(xiě)光刻系統(tǒng)研制改進(jìn)設(shè)計(jì)的二維微棱鏡陣列模板
        6.2.1 點(diǎn)陣灰度直寫(xiě)光刻系統(tǒng)的搭建
        6.2.2 二維微棱鏡陣列金屬模具的制作
    6.3 第二款5inch集成導(dǎo)光板樣品的制作與測(cè)試分析
    6.4 第三款5inch集成導(dǎo)光板樣品的制作與測(cè)試分析
    6.5 本章小結(jié)
第七章 總結(jié)
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀博士學(xué)位期間的研究成果



本文編號(hào):3850621

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