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超高純鐵磁性金屬靶材濺射鍍膜的性能研究

發(fā)布時間:2021-06-23 14:40
  近年來,半導體技術(shù)和各種先進電子元器件得到了飛速發(fā)展。鐵磁性稀有貴金屬及其合金濺射靶材作為支撐半導體集成電路、存儲芯片等先進元器件制造的重要材料,具有廣闊的市場前景。然而,由于鐵磁性材料通常具有獨特的電、磁等性能,其高純金屬靶材制作難度很大,相關(guān)的產(chǎn)品幾乎全部被西方企業(yè)所壟斷,使得我國在智能制造、基礎(chǔ)專用材料制備技術(shù)和自給保障能力等方面面臨“卡脖子”的困局。本文結(jié)合我國目前在超高純鐵磁性金屬靶材的加工制造方面的不足,一方面開展鐵磁性金屬靶材濺射鍍膜的性能分析,研究靶材的透磁率、元素添加、退火等相關(guān)工藝對成膜性能的影響,為高質(zhì)量、高性能的鐵磁性靶材的研發(fā)和設(shè)計提供科學依據(jù);另一方面,通過引入界面插層、表面活性劑、覆蓋不同的保護層、優(yōu)化熱處理溫度等手段,進一步研究界面電子結(jié)構(gòu)對鐵磁性靶材濺射所得納米磁性薄膜性能的影響,通過對界面電子結(jié)構(gòu)的調(diào)控優(yōu)化了薄膜的性能,并揭示了其中的調(diào)控機理。本論文的主要研究內(nèi)容及結(jié)果如下:(1)研究了 Co靶材的透磁率對濺射薄膜的磁性能的影響。研究發(fā)現(xiàn)不同透磁率的Co靶材在相同的濺射工藝條件下,沉積Co薄膜的剩磁比不同。透磁率相對較低(為69.13%)的Co靶材濺... 

【文章來源】:北京科技大學北京市 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:146 頁

【學位級別】:博士

【部分圖文】:

超高純鐵磁性金屬靶材濺射鍍膜的性能研究


圖2-1濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈(資料來源:公開資料整理)

示意圖,磁化曲線,外磁場,單晶


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面積圖,鐵磁,飽和狀態(tài),晶向


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【參考文獻】:
期刊論文
[1]電子行業(yè)用高純金濺射靶材研究綜述[J]. 譚志龍,陳家林,聞明,王傳軍,郭俊梅,許彥亭,沈月,管偉明.  貴金屬. 2019(02)
[2]半導體芯片行業(yè)用金屬濺射靶材市場分析[J]. 張衛(wèi)剛,李媛媛,孫旭東,王鵬,閆文娟.  世界有色金屬. 2018(10)
[3]Tunneling Anisotropic Magnetoresistance in L10-MnGa Based Antiferromagnetic Perpendicular Tunnel Junction[J]. 趙旭鵬,魏大海,魯軍,毛思瑋,余之峰,趙建華.  Chinese Physics Letters. 2018(08)
[4]自旋軌道轉(zhuǎn)矩[J]. 王天宇,宋琪,韓偉.  物理. 2017(05)
[5]磁控濺射用難熔金屬靶材制作、應(yīng)用與發(fā)展[J]. 賈國斌,馮寅楠,賈英.  金屬功能材料. 2016(06)
[6]不同底層對CoFeB/Pt多層膜垂直磁各向異性的影響研究[J]. 程鵬,王洪信,俱海浪,李寶河.  電子元件與材料. 2016(12)
[7]Enhancement of post-annealing stability in Co/Ni multilayers with perpendicular magnetic anisotropy by Au insertion layers[J]. Yi Cao,Ming-Hua Li,Kang Yang,Xi Chen,Guang Yang,Qian-Qian Liu,Guang-Hua Yu.  Rare Metals. 2016(10)
[8]鎳鉑合金濺射靶材在半導體制造中的應(yīng)用及發(fā)展趨勢[J]. 王一晴,郭俊梅,管偉明,聞明,譚志龍,張俊敏,王傳軍.  貴金屬. 2016(03)
[9]靶材熱處理溫度對磁控濺射Mo薄膜組織和性能的影響[J]. 張國君,馬杰,安耿,孫院軍.  中國鉬業(yè). 2014(06)
[10]熱處理溫度對CoTaZr薄膜磁芯電感性能的影響[J]. 李慧,謝致薇,楊元政,陳先朝,何玉定.  電子元件與材料. 2014(02)



本文編號:3245125

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