激光反射鏡是高能激光器的核心光學(xué)元件之一,制造激光反射鏡的單晶硅基板要求具有超光滑表面和高精度面形。目前,反射鏡單晶硅基板的加工工藝路線為“研磨—拋光—修形”。其中研磨加工的面形精度和表面損傷直接影響后續(xù)拋光加工的精度和效率,研磨工藝是加工高精度高質(zhì)量單晶硅基板的關(guān)鍵工藝。針對(duì)研磨加工表面損傷和面形精度不易控制、加工效率低等問(wèn)題,本文提出了基于工件旋轉(zhuǎn)法磨削原理的單晶硅基板超精密磨削新工藝,代替現(xiàn)有的研磨工藝,并根據(jù)工件旋轉(zhuǎn)法磨削工藝特點(diǎn)以及激光反射鏡單晶硅基板的加工要求,從單晶硅基板的磨削表面層質(zhì)量、磨削表面損傷控制和低損傷磨削砂輪研制、單晶硅基板磨削面形控制方法以及單晶硅基板高精度低損傷超精密磨削工藝等方面進(jìn)行了深入研究,對(duì)于實(shí)現(xiàn)高精度高質(zhì)量單晶硅基板的超精密磨削具有重要的指導(dǎo)意義。本文的主要研究?jī)?nèi)容和結(jié)論如下:（1）為了控制超精密磨削單晶硅基板的表面層質(zhì)量,建立了單晶硅延性域磨削的磨粒切削深度模型,并利用模型對(duì)單晶硅磨削表面粗糙度和亞表面損傷深度進(jìn)行了預(yù)測(cè),還分析了在磨粒切削深度不變的條件下磨削速度對(duì)單晶硅表面層質(zhì)量的影響。首先,考慮單晶硅磨削過(guò)程中材料有效去除的磨粒最小切削深度... 

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【學(xué)位級(jí)別】：博士

【部分圖文】：

圖１．１美軍代表性的高能激光武器系統(tǒng)（ａ）陸基（ｂ）�；ǎ悖┛栈�??

圖１．２光學(xué)諧振腔Ｍ?（ａ）簡(jiǎn)易光學(xué)諧振腔（ｂ）非穩(wěn)諧振腔??

圖１．３粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)??．．ｖ

【參考文獻(xiàn)】：
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本文編號(hào)：3230449