面向微電子封裝領(lǐng)域,高速液滴微噴已經(jīng)成為近年來該領(lǐng)域研究的重點(diǎn)�？焖�、微量、精確地分配液滴,已經(jīng)成為該領(lǐng)域研究的目標(biāo)需求。膠體種類繁多,不一樣的膠體有著不一樣的特性,特別是高粘性膠體,該類膠體由于其自身過高的粘性,分離工作一直是業(yè)界難題。因此,快速、精確分離膠體的研究有著非常特別的意義。本文面向微電子封裝領(lǐng)域需求,對(duì)于高粘性膠體的分配問題,設(shè)計(jì)了一款基于壓電驅(qū)動(dòng)的菱形放大撞針式微噴閥,該微噴閥驅(qū)動(dòng)力大,并且結(jié)合了壓電致動(dòng)器本身響應(yīng)迅速,輸出位移精準(zhǔn)的優(yōu)點(diǎn),菱形放大機(jī)構(gòu)自身結(jié)構(gòu)緊湊,回復(fù)迅速,對(duì)實(shí)現(xiàn)高粘性膠體的分配有著重大幫助。本課題圍繞微噴閥液滴快速微量分配的特點(diǎn),重點(diǎn)對(duì)液滴脫落過程、基于壓電致動(dòng)器的菱形放大機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)、壓電驅(qū)動(dòng)撞針式微噴裝置動(dòng)力學(xué)特性分析及液滴微噴系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)等工作,首先為了分析液滴微噴原理,研究單個(gè)液滴及多個(gè)液滴隨時(shí)間變化的脫落過程�；诮＼浖礼ambit建立撞針-噴嘴模型,再通過有限元分析軟件Fluent來進(jìn)行仿真計(jì)算,分別改變微噴過程中的驅(qū)動(dòng)壓力、液體粘度、撞針位移、噴嘴直徑,研究這些參數(shù)中單個(gè)參數(shù)或者不同參數(shù)之間的組合來對(duì)噴射出的液滴脫離、分配體積所... 

【文章來源】：山東大學(xué)山東省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：82 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－丨氣壓閥控式ＰＡＤ－ＪＥＴ３０２０Ｓ??

山東大學(xué)碩士學(xué)位論文??ｐｍ，并且能夠在１７５?ｐｍ的緊湊空間內(nèi)噴射［１６：＞。??直線微注射閥控式是利用高精度微注射泵來代替氣體壓力的作用，與高頻電??磁閥連接，通過控制電磁閥的通斷來進(jìn)行噴射，其工作原理如圖１－２所示。與空??氣驅(qū)動(dòng)式相比，精度能有較大的提高??注射閥??ｙ■主控器??ＳｙｎＱＵＡＤ?閥丄?ｒ—１－ＴＣｆｈｒ－??注射泵??……?■■■＿＿＿－?．?？??漸進(jìn)電動(dòng)機(jī)??圖１－２直線微注射閥工作原理??壓電驅(qū)動(dòng)式微噴閥是利用壓電陶瓷來做驅(qū)動(dòng)源，由于壓電陶瓷具有響應(yīng)速度??快、頻率高、輸出位移精準(zhǔn)［１＞２（）１等優(yōu)點(diǎn)，在微噴閥中能發(fā)揮巨大的作用，但是，??壓電陶瓷本身所產(chǎn)生的位移特別小，常常需要?jiǎng)e的機(jī)械機(jī)構(gòu)來對(duì)它的位移作用進(jìn)??行放大ｌ２１＿２２Ｌ因此，根據(jù)放大驅(qū)動(dòng)方式的不同，可分為容積型、振動(dòng)型和壓電驅(qū)??動(dòng)撞針型噴射技術(shù)１２３］。??謝動(dòng)器?盤狀樂電片??ｄｊ?職動(dòng)屏??（ａ）?（ｂ）??ａ）盤狀壓電陶瓷?ｂ）環(huán)狀壓電陶瓷??圖１－３容積型壓電驅(qū)動(dòng)噴射微滴技術(shù)??容積型壓電驅(qū)動(dòng)噴射微滴技術(shù)的原理是通過壓電材料的變形來快速地改變??液體腔的體積，造成液體腔內(nèi)氣壓的變化，迫使液體在該作用下被“擠”出來，??形成微小的液滴。容積型壓電驅(qū)動(dòng)噴射液滴技術(shù)中用到的壓電陶瓷主要有環(huán)狀結(jié)??構(gòu)和盤狀結(jié)構(gòu)，如圖１－３所示，分別用來驅(qū)動(dòng)收縮管和平板膜片。特點(diǎn)是對(duì)液滴??的控制能力強(qiáng)，精度優(yōu)于±２％，并且噴射頻率特別高，能達(dá)到４０ｋＨｚ，最小噴??３??

山東大學(xué)碩士學(xué)位論文??ｐｍ，并且能夠在１７５?ｐｍ的緊湊空間內(nèi)噴射［１６：＞。??直線微注射閥控式是利用高精度微注射泵來代替氣體壓力的作用，與高頻電??磁閥連接，通過控制電磁閥的通斷來進(jìn)行噴射，其工作原理如圖１－２所示。與空??氣驅(qū)動(dòng)式相比，精度能有較大的提高??注射閥??ｙ■主控器??ＳｙｎＱＵＡＤ?閥丄?ｒ—１－ＴＣｆｈｒ－??注射泵??……?■■■＿＿＿－?．?？??漸進(jìn)電動(dòng)機(jī)??圖１－２直線微注射閥工作原理??壓電驅(qū)動(dòng)式微噴閥是利用壓電陶瓷來做驅(qū)動(dòng)源，由于壓電陶瓷具有響應(yīng)速度??快、頻率高、輸出位移精準(zhǔn)［１＞２（）１等優(yōu)點(diǎn)，在微噴閥中能發(fā)揮巨大的作用，但是，??壓電陶瓷本身所產(chǎn)生的位移特別小，常常需要?jiǎng)e的機(jī)械機(jī)構(gòu)來對(duì)它的位移作用進(jìn)??行放大ｌ２１＿２２Ｌ因此，根據(jù)放大驅(qū)動(dòng)方式的不同，可分為容積型、振動(dòng)型和壓電驅(qū)??動(dòng)撞針型噴射技術(shù)１２３］。??謝動(dòng)器?盤狀樂電片??ｄｊ?職動(dòng)屏??（ａ）?（ｂ）??ａ）盤狀壓電陶瓷?ｂ）環(huán)狀壓電陶瓷??圖１－３容積型壓電驅(qū)動(dòng)噴射微滴技術(shù)??容積型壓電驅(qū)動(dòng)噴射微滴技術(shù)的原理是通過壓電材料的變形來快速地改變??液體腔的體積，造成液體腔內(nèi)氣壓的變化，迫使液體在該作用下被“擠”出來，??形成微小的液滴。容積型壓電驅(qū)動(dòng)噴射液滴技術(shù)中用到的壓電陶瓷主要有環(huán)狀結(jié)??構(gòu)和盤狀結(jié)構(gòu)，如圖１－３所示，分別用來驅(qū)動(dòng)收縮管和平板膜片。特點(diǎn)是對(duì)液滴??的控制能力強(qiáng)，精度優(yōu)于±２％，并且噴射頻率特別高，能達(dá)到４０ｋＨｚ，最小噴??３??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]用于微電子封裝的電子膠粘劑及其涂覆工藝[J]. 王志,秦蘇瓊,譚偉.  電子工業(yè)專用設(shè)備. 2019(01)
[2]基于放大機(jī)構(gòu)的壓電微電動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)與力學(xué)分析[J]. 趙佳峰,李沖.  微特電機(jī). 2018(07)
[3]微陣列芯片點(diǎn)樣微噴系統(tǒng)研制[J]. 鄭敏捷,謝洋,趙啟焱,尤暉.  機(jī)械研究與應(yīng)用. 2018(03)
[4]氣動(dòng)噴射閥點(diǎn)膠質(zhì)量改善研究[J]. 陳恒,楊俊逸,張志航,劉祖耀,夏冬梅,冉紅鋒,張儉.  現(xiàn)代制造工程. 2018(05)
[5]雙向驅(qū)動(dòng)壓電作動(dòng)器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J]. 劉雪瑞,黃衛(wèi)清,王寅,孫夢(mèng)馨.  振動(dòng).測(cè)試與診斷. 2017(06)
[6]新型非接觸式微液滴點(diǎn)樣噴頭的研制[J]. 趙啟焱,尤暉,鄭敏捷,黃哲.  儀表技術(shù). 2017(09)
[7]環(huán)氧樹脂導(dǎo)熱膠粘劑研究進(jìn)展[J]. 馬文嬌.  信息記錄材料. 2017(09)
[8]A Piezoelectric Friction-Inertial Linear Motor Based on Piezoelectric Single-Crystal Cymbal Displacement Amplification Mechanism[J]. Xing Xiaohong,Guo Mingsen,Chen Jialin,Wang Jiechen.  Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics. 2017(01)
[9]適用于FSM系統(tǒng)的菱形微位移放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)[J]. 方楚,郭勁,徐新行,姜振華,王挺峰.  紅外與激光工程. 2016(10)
[10]壓電微噴輔助液滴的多物理場(chǎng)耦合與實(shí)驗(yàn)[J]. 范增華,榮偉彬,王樂鋒,孫立寧.  西安交通大學(xué)學(xué)報(bào). 2016(11)

博士論文
[1]3D冷打印成形硬質(zhì)合金的研究[D]. 張欣悅.北京科技大學(xué) 2019
[2]高粘度熔液的壓電噴射打印機(jī)理與實(shí)驗(yàn)研究[D]. 顧守東.吉林大學(xué) 2018
[3]彎曲微通道內(nèi)彈性湍流特性研究[D]. 李東陽.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2017
[4]壓電驅(qū)動(dòng)非接觸噴射點(diǎn)膠閥的設(shè)計(jì)理論與實(shí)驗(yàn)研究[D]. 路崧.吉林大學(xué) 2016
[5]壓電式非接觸噴射焊錫膏體機(jī)理及實(shí)驗(yàn)研究[D]. 焦曉陽.吉林大學(xué) 2015
[6]壓電驅(qū)動(dòng)撞針式高黏性液體微量分配技術(shù)研究[D]. 路士州.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2015
[7]氣動(dòng)膜片式金屬微滴噴射理論與實(shí)驗(yàn)研究[D]. 舒霞云.華中科技大學(xué) 2009

碩士論文
[1]全自動(dòng)在線式點(diǎn)膠機(jī)的研制[D]. 趙航宇.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2018
[2]基于微滴的顯微拆蛋系統(tǒng)構(gòu)建及實(shí)驗(yàn)研究[D]. 魏頂.蘇州大學(xué) 2018
[3]電子封裝用凸點(diǎn)陣列均勻金屬微滴可控打印研究[D]. 熊偉.西北工業(yè)大學(xué) 2017
[4]pL級(jí)超微量點(diǎn)膠性能分析與實(shí)驗(yàn)研究[D]. 吳銳奇.華南理工大學(xué) 2017
[5]壓電驅(qū)動(dòng)撞針式微噴閥仿真分析及實(shí)驗(yàn)研究[D]. 趙亞濤.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2016
[6]基于機(jī)器視覺定位的自動(dòng)點(diǎn)膠控制系統(tǒng)的研究與開發(fā)[D]. 劉幣幣.華南理工大學(xué) 2016
[7]壓電驅(qū)動(dòng)式熱溶膠噴射閥機(jī)理及實(shí)驗(yàn)研究[D]. 楊洋.吉林大學(xué) 2016
[8]基于機(jī)器視覺的雙頭點(diǎn)膠機(jī)的設(shè)計(jì)[D]. 朱廣韜.江蘇大學(xué) 2016
[9]微噴射型三維打印系統(tǒng)的關(guān)鍵成型工藝技術(shù)研究[D]. 曹澍.華中科技大學(xué) 2015
[10]基于柔性鉸鏈型位移放大機(jī)構(gòu)的高速噴射點(diǎn)膠頭研究[D]. 李益盼.廈門大學(xué) 2014



本文編號(hào)：3231223