金屬與金屬氧化物在氣敏、光催化與太陽能電池等方面有著極為重要的應用,通過磁控濺射法制備的金屬氧化物薄膜,具有純度高、致密性好、可控性強、與基底附著性好等優(yōu)點,因此磁控濺射技術(shù)被廣泛應用于工業(yè)化生產(chǎn)制備大面積、高質(zhì)量的薄膜。我們通過磁控濺射法制備了氧化銅納米線陣列薄膜,并研究了其氣敏性質(zhì);除此之外,我們還通過磁控濺射法制備了TiO₂/WO₃復合薄膜,研究了兩者之間的電荷傳輸性質(zhì):基于磁控濺射法,我們主要開展了以下三個方面的工作:（1）采用磁控濺射法在摻氟二氧化錫導電玻璃（FTO）襯底上濺射金屬銅薄膜,所制備的Cu薄膜通過在管式爐中退火氧化生長,可得到CuO納米線陣列薄膜。用X射線衍射儀（XRD）、掃描電子顯微鏡（SEM）、高分辨透射電子顯微鏡（HRTEM）對其形貌和結(jié)構(gòu)進行了表征,并研究了這種通過磁控濺射法得到的CuO納米線陣列薄膜對CO和H₂S的氣敏性質(zhì),研究結(jié)果表明:CuO納米線陣列薄膜在250℃時對CO氣體具有最強的氣敏響應,并且當CO濃度增大時其氣敏響應明顯增強;而對于H₂S氣體,在常溫下Cu... 

【文章來源】：河南大學河南省

【文章頁數(shù)】：64 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

一步水熱合成法制備的TiO2/WO3復合材料

此種薄膜在紅外與近紅外區(qū)域提高了光電響應，有望在染料敏化太陽能電池中得到應用。圖1-3為Hiroshi等人[39]采用磁控濺射法與溶膠-凝膠法制備的雙層復合薄膜，此種薄膜在紫外光照下具有很好的親水性，且磁控濺射法制備的薄膜親水性質(zhì)要優(yōu)于溶膠-凝膠法制備薄膜。三氧化鎢薄膜廣泛應用于電致變色、光致變色，氣致變色、熱致變色等多種領(lǐng)域，當前，對電致變色、光致變色性能的研究比較多并取得了顯著的成果，如：智能窗，可圖 1-3 磁控濺射法（a）與溶膠-凝膠法 (b) 制備的 TiO2/WO3雙層復合結(jié)構(gòu)圖 1-2 溶膠凝膠法制備的三維 WO3/TiO2復合薄膜

Lu等人[38]采用溶膠-凝膠法制備的三維多孔WO3/TiO2復合薄膜外區(qū)域提高了光電響應，有望在染料敏化太陽能電池中得到應Hiroshi等人[39]采用磁控濺射法與溶膠-凝膠法制備的雙層復合薄 1-3 磁控濺射法（a）與溶膠-凝膠法 (b) 制備的 TiO2/WO3雙層復合結(jié)圖 1-2 溶膠凝膠法制備的三維 WO3/TiO2復合薄膜

【參考文獻】：
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本文編號：3305714