利用脈沖磁控濺射法,以鋁青銅合金(C63200)和硅片為基底,制作不同Ti含量的MoS₂-Ti復合涂層。通過XRD、SEM、EDS、光學顯微鏡、多環(huán)境摩擦試驗機等表征了涂層的結構成分和摩擦性能。結果表明:隨Ti含量的增加,涂層致密度提升,S、Mo原子比上升。Ti的摻入使涂層由高度結晶態(tài)向非晶態(tài)轉(zhuǎn)變。Ti含量增加,涂層摩擦磨損性能先上升再下降,常溫真空下含3%Ti的涂層擁有穩(wěn)定和低至0.015的摩擦系數(shù),23%Ti的涂層失去潤滑性。溫度升高到400℃,涂層摩擦系數(shù)由0.015～0.04上升至0.07～0.1,含13%Ti的涂層高溫真空下在800s后潤滑失效。磨痕形貌顯示,含3%Ti的涂層磨痕最窄,溫度升高寬度增加不大,含13%Ti的涂層磨損嚴重,400℃真空環(huán)境下很快磨穿,純MoS₂和13%Ti涂層摩擦時發(fā)現(xiàn)大量磨粒和破碎磨屑。

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【文章目錄】：
1 引言
2 實驗方法和材料
    2.1 涂層制備
    2.2 結構表征和性能測試
3 實驗結果和討論
    3.1 形貌及成分
    3.2 組織結構
    3.3 常溫真空摩擦性能
    3.4 高溫真空摩擦性能
    3.5 摩擦后磨痕及形貌
4 結論



本文編號：3860651