MEMS加速度計(jì)傳感器作為現(xiàn)代微型慣性測(cè)量設(shè)備中的關(guān)鍵器件，以其體積小、重量輕、成本低、功耗低、與集成電路工藝兼容等優(yōu)勢(shì)被廣泛應(yīng)用在汽車、醫(yī)療、航空、軍事國(guó)防等多個(gè)領(lǐng)域。因此，MEMS加速度計(jì)具有非常重要的研究意義和價(jià)值。本文根據(jù)加速度計(jì)的基本原理，提出了如何測(cè)試MEMS地震檢波器，對(duì)MEMS電容式加速度計(jì)結(jié)構(gòu)和讀出電路進(jìn)行了詳細(xì)的闡述，分析了阻尼系數(shù)、彈性梁剛度系數(shù)理論計(jì)算模型，介紹了微小電容檢測(cè)的方法，在此基礎(chǔ)上提出了一種以開(kāi)關(guān)電容放大器為基礎(chǔ)的讀出電路的具體結(jié)構(gòu)，并分析了機(jī)械噪聲和電路噪聲。本文對(duì)測(cè)試方法及內(nèi)容進(jìn)行了設(shè)計(jì)研究。通過(guò)采集系統(tǒng)完成了數(shù)字檢波器噪音、抗干擾、震動(dòng)臺(tái)測(cè)試及數(shù)字檢波器特性的測(cè)試，研究MEMS檢波器動(dòng)態(tài)參數(shù)及測(cè)試方法,通過(guò)對(duì)地震勘探MEMS檢波器進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能分析,介紹頻率范圍、失真度系數(shù)、動(dòng)態(tài)范圍的測(cè)試方法,實(shí)際的測(cè)量結(jié)果證明了測(cè)試方法的正確性和可行性。 

【文章來(lái)源】：西安石油大學(xué)陜西省

【文章頁(yè)數(shù)】：70 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

MEMS加速度計(jì)傳感器的二階質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)模型

SOI 工藝結(jié)合了體硅和表面娃工藝的優(yōu)勢(shì)，通過(guò)深反應(yīng)離子刻燭工藝的結(jié)構(gòu)，從而可以實(shí)現(xiàn)大質(zhì)量的器件，對(duì)于慣性傳感器而言可以提高系 SOI 工藝采用了表面桂工藝中的犧牲層技術(shù)，使得結(jié)構(gòu)的釋放更徹底還可以采用深反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)將器件結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的襯底刻蝕掉，從而提高傳感器的品質(zhì)因子。對(duì)于 SOI MEMS 的研究，ADI 公司從 2000 年 MEMS 核心技術(shù)，其代表就是第四代加速度計(jì) ADXL40，該加速度計(jì)的度和自測(cè)試均是利用片上的多晶硅溶絲進(jìn)行修調(diào)，可以消除封裝對(duì)器

開(kāi)環(huán)方式

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]地震勘探用三維MEMS加速度傳感器的研究[J]. 諶貴輝,劉建生,李禮,楊帆.  傳感器與微系統(tǒng). 2012(04)
[2]地震勘探用電容式閉環(huán)微加速度計(jì)的仿真[J]. 諶貴輝,劉建生,李禮,楊帆.  微納電子技術(shù). 2012(02)
[3]微電子機(jī)械系統(tǒng)數(shù)字地震檢波器模擬方法的研究[J]. 張曉丹,柯熙政,張志禹,張琦.  機(jī)械科學(xué)與技術(shù). 2011(09)
[4]三分量數(shù)字檢波器電磁干擾產(chǎn)生的機(jī)理研究[J]. 張懷榜,于靜,陳吳金,徐維秀.  石油儀器. 2011(01)
[5]基于傅里葉變換的MEMS地震檢波器設(shè)計(jì)[J]. 崔琪琳,吳曉鳳.  世界電子元器件. 2010(12)
[6]新型MEMS地震檢波器的研究[J]. 諶貴輝,趙萬(wàn)明,任誠(chéng),席建中.  傳感器與微系統(tǒng). 2010(08)
[7]新一代陸上地震采集裝備技術(shù)展望[J]. 葉勇.  勘探地球物理進(jìn)展. 2009(06)
[8]地震勘探儀器：現(xiàn)狀與未來(lái)[J]. 韓曉泉,穆群英,易碧金.  石油科技論壇. 2008(05)
[9]地震勘探儀器的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[J]. 韓曉泉,穆群英,易碧金.  物探裝備. 2008(01)
[10]全數(shù)字地震勘探技術(shù)應(yīng)用效果及展望[J]. 王喜雙,董世泰,王梅生.  中國(guó)石油勘探. 2007(06)

博士論文
[1]石油勘探中的慣性傳感器研究[D]. 郁專.中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2009

碩士論文
[1]用于地震檢波的高精度A/D轉(zhuǎn)換器設(shè)計(jì)[D]. 唐姍姍.山東大學(xué) 2010
[2]基于MEMS的地震檢波器研究與設(shè)計(jì)[D]. 劉麗娟.中國(guó)海洋大學(xué) 2010
[3]MEMS電容式加速度傳感器相關(guān)檢測(cè)技術(shù)研究[D]. 吳浩.中國(guó)科學(xué)院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所） 2006
[4]陸地地震檢波器應(yīng)用研究[D]. 羅蘭兵.吉林大學(xué) 2005



本文編號(hào)：3542758