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831. 基于MEMS的列車舒適度、平穩(wěn)性無線傳感器設計
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832. 基于MEMS的可重構天線及多頻天線的關鍵技術研究
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833. 一種基于MEMS的新型鏤空壓電懸臂梁能量采集器
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834. 可重構MEMS微波功率耦合器的設計及其可靠性研究
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835. 基于MEMS傳感器的挖掘機姿態(tài)檢測系統(tǒng)的研究
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836. 基于變面積電容傳感的大量程MEMS加速度計加工工藝研究
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837. PZT薄膜的溶膠凝膠法制備及在MEMS中的應用研究
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838. MEMS微半球諧振陀螺的力反饋模態(tài)及其FPGA平臺實現(xiàn)
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839. 基于MEMS濾波器芯片的X波段混頻通道設計
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840. MEMS麥克風的低噪前置放大器及偏置電路設計
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