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71. MEMS器件工藝特性及其性能測試的研究

72. 基于MEMS微型發(fā)動(dòng)機(jī)的裝藥選擇

73. MEMS涂層接觸問題的有限元分析

74. 基于自適應(yīng)濾波的MEMS姿態(tài)確定方法

75. MEMS陀螺旋轉(zhuǎn)導(dǎo)航誤差的分析與仿真

76. W波段MEMS腔體濾波器

77. MEMS器件分層失效的強(qiáng)化試驗(yàn)技術(shù)研究

78. 差分型MEMS矢量水聽器的研制

79. MEMS加速度計(jì)開環(huán)檢測電路的設(shè)計(jì)

80. MEMS微摩擦磨損儀器的研究進(jìn)展