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641. 激光—微筆/微噴直寫集成制造MEMS微結(jié)構(gòu)關(guān)鍵技術(shù)研究
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642. 基于MEMS技術(shù)的薄膜換能元及其電爆性能研究
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643. 旋轉(zhuǎn)彈用免驅(qū)動(dòng)三軸MEMS陀螺角速率提取算法研究
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644. 基于MEMS的四旋翼飛行器姿態(tài)估計(jì)與控制系統(tǒng)研究
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645. 基于SOI的三軸MEMS微加速度計(jì)的設(shè)計(jì)與工藝研究
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646. Galfenol/金剛石MEMS磁傳感器的制備及性能研究
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647. MEMS加速度傳感器全差分讀出電路的分析與設(shè)計(jì)
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648. 基于MEMS陀螺儀的車身位姿穩(wěn)定性控制研究
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649. 基于MEMS的捷聯(lián)航姿參考系統(tǒng)性能優(yōu)化設(shè)計(jì)與開發(fā)
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650. 利用MEMS-IMU檢測(cè)車輛運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的自適應(yīng)方法
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