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51. 新型MEMS器件電子封裝技術(shù)的研究

52. MEMS慣性組合自標定與應用

53. 基于MEMS的人體運動信息采集系統(tǒng)

54. MEMS陀螺隨機誤差辨識與降噪技術(shù)

55. 高過載MEMS環(huán)形陀螺制造與測試

56. 基于MEMS器件的慣性測量系統(tǒng)設(shè)計

57. MEMS行波超聲電機啟動特性研究

58. 基于MEMS的太赫茲可調(diào)器件研究

59. 基于MEMS的太赫茲可調(diào)器件研究

60. MEMS集成復合磁芯雙層平面電感研究