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581. 基于
MEMS
傳感器的彈載數(shù)字慣性測(cè)量組合設(shè)計(jì)
582. 基于
MEMS
-INS/GNSS的車載組合導(dǎo)航模型研究
583. 利用陽(yáng)極鍵合封裝
MEMS
器件所用離子導(dǎo)電聚合物開發(fā)
584. 基于
MEMS
加速度計(jì)和陀螺儀的傾角測(cè)量系統(tǒng)的研究
585. 基于
MEMS
的滑動(dòng)軸承動(dòng)壓油膜3D檢測(cè)方法的研究
586. 基于
MEMS
的聲表面波器件設(shè)計(jì)與制作的關(guān)鍵技術(shù)研究
587. 基于
MEMS
技術(shù)的太赫茲可調(diào)波導(dǎo)帶阻濾波器
588. 相控陣天線用4位分布式
MEMS
移相器研究
589.
MEMS
壓阻式壓力傳感器倒裝焊封裝的研究和發(fā)展
590. 基于鎖相環(huán)原理的
MEMS
硅陀螺閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)
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