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561. 面向5G通信應(yīng)用的射頻MEMS開關(guān)設(shè)計與制造關(guān)鍵技術(shù)研究
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562. 基于增敏結(jié)構(gòu)的熱絲式MEMS矢量水聽器研究
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563. 基于MEMS工藝的氣體傳感器微熱板設(shè)計、制作與測試
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564. 青島大學(xué)MEM專業(yè)學(xué)位研究生培養(yǎng)模式調(diào)查研究
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565. MEMS加速度計的1/f噪聲分析及濾波技術(shù)研究
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566. 基于MEMS標(biāo)矢量一體化水聽器的浮標(biāo)系統(tǒng)設(shè)計
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567. 基于MEMS傳感器/WiFi組合的室內(nèi)人員定位技術(shù)研究
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568. 低G值慣性延時MEMS火工品一體化設(shè)計
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569. 基于MEMS加速度計的高精度傾角傳感器研制
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570. 載體機(jī)動條件下的MEMS-AHRS航姿算法研究
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