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531. MEMS壓電—磁電復合式微能源器件優(yōu)化設計制造及其性能研究
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532. MEMS傳感器結合激光測距在汽車物聯(lián)網(wǎng)中應用研究
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533. 低成本MEMS慣性測量組件復合標定與誤差補償方法研究
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534. 一種新型RF-MEMS微天線的設計與實現(xiàn)
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535. 面向非硅MEMS的桌面微裝配系統(tǒng)模塊化設計方法
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536. MEMS加速度傳感器測試平臺控制系統(tǒng)的研制
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537. 基于MEMS傳感器的虛擬現(xiàn)實射擊識別設備與系統(tǒng)
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538. 一種硅基MEMS微波SIR交指帶通濾波器
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539. 基于洛倫茲力的MEMS磁傳感器的研究進展
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540. 基于洛倫茲力的MEMS磁傳感器的研究進展
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